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D07-19C-氣體質(zhì)量流量控制器
  • D07-19C-氣體質(zhì)量流量控制器

貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時間:2025-06-17 21:00:08

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D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制,。廣泛用于電子工藝設(shè)備,、真空鍍膜,、石油化工、冶金,、制藥,、光纖熔煉,、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè),。

D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介:

 

 

★高精度,,快響應(yīng)型

 

 

★橡膠密封、模擬電路的MFC

★采用DB15型電插頭,,標準機械接頭

★兼容

D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器用途:

 

用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制,。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜,、石油化工,、冶金、制藥,、光纖熔煉,、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè),。

D07-19C氣體質(zhì)量流量控制器詳細參數(shù):

 

產(chǎn)品型號

D07-19C

產(chǎn)品類型

高精度型,快響應(yīng)型

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm

產(chǎn)品精度

±1%F.S.(20slm ±2%F.S.)

重復(fù)精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.)

響應(yīng)時間

≤1.5sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

- 無 -

溫度系數(shù)

Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.1~0.5) MPa

漏率

1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)

標準接頭形式

雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

CE

重量

1.2Kg

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