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產(chǎn)品型號

產(chǎn)品類型

高精度型,快響應型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

流量量程

1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm

產(chǎn)品精度

±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重復精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.

響應時間

≤1sec

工作溫度范圍

(0~50)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,金屬密封 Metal

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V,24V

閥類型

常閉

溫度系數(shù)

Span: ≤±0.05% F.S./℃,Span: ≤±0.1% F.S./℃

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作壓差范圍

(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

漏率

1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭

表面化學成分

表面粗糙度

25µinch

抗電磁干擾

- 無 -

重量

1.2Kg