DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器的電氣接口形式介紹,！

閱讀：1226發(fā)布時間：2023-9-11

DS300簡介

DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是基于壓力檢測原理的質(zhì)量流量控制器，流量控制采用壓電閥控制技術(shù),。產(chǎn)品具有零點漂移小,，控制流量穩(wěn)定、可靠,，響應(yīng)時間短,、精度高的優(yōu)點,，此外還具有壓力不敏感功能，能夠適用較大的氣源壓力波動,。產(chǎn)品采用全金屬密封,，所有與氣體接觸的零件都經(jīng)過EP處理，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),，如刻蝕設(shè)備上,。

DS300外觀圖

電源方式

DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品采用開關(guān)電源方式，可支持很寬的雙電源（±8～±16V DC）或單電源（+14～+28V DC）,，客戶可以根據(jù)需要自行選擇。

電氣接頭

DS300壓力式MFC產(chǎn)品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽接頭（9針或15針）,，客戶可以根據(jù)需要自行選擇,。

圖1 9針D型陽接頭連接圖

圖2 15針D型陽接頭連接圖

通訊協(xié)議

DS300壓力式MFC產(chǎn)品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協(xié)議，客戶可以根據(jù)需要自行選擇,，其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應(yīng)的適配器與電腦進行連接,。

圖3 DeviceNet連接圖

圖4 RS485連接圖

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