電磁調(diào)節(jié)閥(Electromagnetic valve)是用電磁控制的工業(yè)設(shè)備,，用在工業(yè)控制系統(tǒng)中調(diào)整介質(zhì)的方向、流量,、速度和其他參數(shù),。作為流體控制自動化系統(tǒng)的執(zhí)行器，由于有著簡單,、動作快,、易于維護等特點，已經(jīng)成為流體控制自動化的*選產(chǎn)品,。

2. 電磁調(diào)節(jié)閥原理

　　電磁調(diào)節(jié)閥是由電磁線圈和磁芯組成,，是包含一個或幾個孔的閥體。當線圈通電或斷開時,，磁芯的運轉(zhuǎn)將導致流體通過閥體或被切斷，以達到改變流體方向的目的,。

　　通電時,，電磁線圈產(chǎn)生電磁力把關(guān)閉件從閥座上提起，閥門打開;斷電時,，電磁力消失,，彈簧把關(guān)閉件壓在閥座上，閥門關(guān)閉,。下圖為電磁調(diào)節(jié)閥通電和斷電兩種狀態(tài)下氣體流通情況的示意圖,。

圖1 電磁調(diào)節(jié)閥通斷電狀態(tài)工作示意圖

3. 電磁調(diào)節(jié)閥在氣體質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用

　　流量控制在很多行業(yè)均有大規(guī)模應(yīng)用，如何*確的對氣體流量進行控制,，是產(chǎn)品研發(fā)的核心技術(shù),。

　　電磁調(diào)節(jié)閥是通過控制輸入電壓來控制閥口的開啟量，從而實現(xiàn)對流量大小的控制。當利用電磁調(diào)節(jié)閥來控制流量時,，易于實現(xiàn)流量控制的自動化,，因此它被廣泛用于質(zhì)量流量控制器上。

　　電磁調(diào)節(jié)閥在流量控制器上的工作原理,，如圖2所示,。

圖2 流量控制器的原理圖

　　通過閥口的實際流量可由流量傳感器測得，流量傳感器輸出的流量信號,，經(jīng)過放大器放大后,，可在顯示儀上顯示出來。當選擇閥控的工作狀態(tài)時,，輸入流量的設(shè)定值,，該值與流量傳感器輸出的放大信號作比較后，經(jīng)過PID運算,，給電磁調(diào)節(jié)閥輸入一個合適的電壓,，讓閥口打開到合適量，使通過閥口的流量與設(shè)定的流量值一致,。只有合理地選擇電磁調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)參數(shù),，才能滿足流量控制器對電磁調(diào)節(jié)閥要求的三種工作狀態(tài)：閥全開、閥關(guān),、閥控,。電磁調(diào)節(jié)閥被應(yīng)用于流量控制器上，其結(jié)構(gòu)如圖3所示,。

圖3 流量控制器

4. 高精度電磁調(diào)節(jié)閥的優(yōu)勢

　　普通的電磁閥只有兩種工作狀態(tài)：全開,、關(guān)閉，而流量控制器上的電磁調(diào)節(jié)閥要求有三種工作狀態(tài)：閥全開,、閥關(guān),、閥控制。所謂閥全開就是閥的大開啟量;閥關(guān)就是在所允許的工作壓力情況下,，能夠關(guān)閉閥口;閥控就是由電磁調(diào)節(jié)閥的輸入電壓控制閥口的開啟量,，從而實現(xiàn)對流量的*確控制。電磁調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)示意圖,，如圖4所示,。

圖4 電磁調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)示意圖

　　該電磁調(diào)節(jié)閥主要由線包、閥芯,、彈*片和閥口密封墊等組成,。高精度電磁調(diào)節(jié)閥工作原理是：當電磁調(diào)節(jié)閥沒有電壓輸入時，電磁調(diào)節(jié)閥所處的狀態(tài)如圖4中的圖(a)所示;當給電磁調(diào)節(jié)閥輸入電壓V時,，閥芯在電磁吸力的作用下向上移動一定的位移y后,處于受力平衡的靜止狀態(tài),，如圖4中的圖(b)所示;隨著電磁調(diào)節(jié)閥輸入電壓V的增大,，閥芯向上移動的位移y也將增大。以此來實現(xiàn),，氣體流量的精度控制,。

　　相比普通的電磁閥，質(zhì)量流量控制器使用的電磁調(diào)節(jié)閥,，其設(shè)計的閥控模式,，可以實現(xiàn)氣體高精度控制。同時,，隨著半導體行業(yè)逐步向28-技術(shù)時代發(fā)展,，對質(zhì)量流量控制器的精度要求越來越高，而高精度電磁調(diào)節(jié)閥是影響流量控制器精度的核心部件,，因此,，高精度電磁調(diào)節(jié)閥的研制是科技發(fā)展的需要，是市場的需要,。

5. 高精度電磁調(diào)節(jié)閥技術(shù)的行業(yè)應(yīng)用

　　電磁調(diào)節(jié)閥由于結(jié)構(gòu)簡單,，可控制范圍寬等優(yōu)點可以廣泛的在流量控制領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，相對于其他控制技術(shù),，技術(shù)可靠性高,，成本低，對于各種介質(zhì)都有良好的適應(yīng)能力,，在光伏太陽能,、燃料電池等多個行業(yè)均由良好的應(yīng)用。