自我診斷技術(shù)是在不停機(jī)或基本不拆機(jī)的情況下，通過(guò)各種檢測(cè)分析來(lái)判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常,，異?；蚬收系脑颉⒉课?、程度以及壽命的預(yù)測(cè),。

　　自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息，即根據(jù)設(shè)備在各種工況下,，表現(xiàn)出來(lái)的精度超差,，零點(diǎn)漂移,，內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來(lái)識(shí)別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴(yán)重程度,，其本質(zhì)是一個(gè)包含信號(hào)采集,、信息提取、信息綜合,、故障識(shí)別和信息利用的過(guò)程,。自我診斷的目標(biāo)是確保產(chǎn)品在功能、精度,、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運(yùn)行,。

圖1 自我診斷的目標(biāo)

2. 自我診斷技術(shù)在氣體質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用

　　半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的要求重要的一點(diǎn)就是高精度，傳統(tǒng)的氣體質(zhì)量流量控制器在使用一段時(shí)間后,，由于環(huán)境溫度,、氣體污染等原因，有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象,，但由于檢測(cè)條件的限制,，用戶無(wú)法對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗(yàn)。因此需要研究一種自我診斷技術(shù),，通過(guò)該技術(shù)，用戶可以隨時(shí)對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗(yàn),。

　　增加氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷功能,，需要通過(guò)初級(jí)流量測(cè)量原理獲得流量。若Qm為氣體的質(zhì)量流量,，可以根據(jù)壓力,、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時(shí)間的變化曲線,如圖2所示：

圖2 壓力隨時(shí)間的變化曲線

　　通過(guò)該圖可以建立氣體質(zhì)量流量控制器的精度對(duì)應(yīng)表，進(jìn)行自我診斷過(guò)程中,，與該表格信息進(jìn)行對(duì)比,，可通過(guò)兩條曲線的相似度判定，系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內(nèi),。自我診斷技術(shù)大大提高了氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的可靠性,，完善了系統(tǒng)功能。

3 自我診斷技術(shù)優(yōu)勢(shì)

　　采用自我診斷技術(shù)的智能分析,，質(zhì)量流量控制器能夠做出智能化的檢測(cè),，對(duì)該設(shè)備可能出現(xiàn)的故障進(jìn)行預(yù)測(cè)，在預(yù)測(cè)的基礎(chǔ)之上,，自動(dòng)予以消除或者做出報(bào)警反映,，這一過(guò)程對(duì)于產(chǎn)品本身使用中的維護(hù)而言，能夠取得更好的經(jīng)濟(jì)效益,，不但工作人員的工作量可以得到有效的降低,，自診結(jié)果也能夠得到很全面地提供，維護(hù)人員還可以對(duì)應(yīng)的進(jìn)行更加完善、有效的維護(hù)方案制定,，維修保養(yǎng)地開展和實(shí)施就會(huì)更加的理想,。