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產品簡介
Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀，通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量,。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數(shù)的轉換,。使用拼接功能可分析寬廣的表面。
詳細介紹
Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀通過的技術力對多樣研究所有的表面提供優(yōu)化解決方案,。所有的功能實現(xiàn)全自動快速運轉,。
NVF-2700可以快測量所有表面的測量儀，利用持有的白光干涉儀WSI和相應算法開發(fā)的產品,。X,，Y，Z軸全部設計為全自動,，通過可調節(jié)F.O.V鏡頭,，自動構成多樣的倍率。此產品專為研究所,，大學和工藝管理而制作的產品,。此設備可以通過拼接（Stitching）功能可以進行大面積（500?）測量,。
得到的WSI/PSI技術，只需要表面有1%的反射率即可測量,，表面現(xiàn)象中的高度,，寬度，幅度,，粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各種項目均可測量,。
此外，WSI的高度分辨率為0.1nm,，2秒鐘時間即可掃描所有的表面,，在不破壞樣品的情況下,可測定0.1nm到1000um的樣品，均可觀察2D/3D的現(xiàn)象,。不僅如此,，更是保障了0.1%(1σ)世界水準的重復性，本公司保有的技術可應用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面,。
NVF-2700的優(yōu)點
· 優(yōu)良的測量精度
· 抗振動設計
· 快速測量速度
· 友好的測量界面
· Stitching功能
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌測量
· 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)
· 高度，深度,，寬度(從亞納米到10mm)·
· 面積信息(體積,，面積)
· 2D和3D 測量
特點
Fast ,Reliable, Fine = Reducing R & D Time
納米級的幾何光學測量
粗糙度，段差,，細微形貌,，薄膜表面
Full range scan只需要兩秒! 掃描速度Max. 116μm/S
兩步A/F簡單準備的全自動聚焦
ISO Roughness參數(shù)（ISO25178/12781/4287等）
可一次性分析透明薄膜厚度及內部形貌（選購）
產品規(guī)格：
測量方法：白光掃描干涉法/相移干涉法
FOV鏡頭：4位電動轉塔，可加裝F.O.V（選項）
干涉物鏡：5物鏡可選(程控）
光源：白光LED照明
掃描范圍：≤270um（PZT）
掃描速度：12μm/sec (1x~5x用戶可選)
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ,，PSI ：﹤0.1nm
橫向分辨率：0.2-4μm（取決于物鏡和FOV）
臺階高度重復性：0.1％@1σ (標準8um臺階樣品)
傾斜度：±6°
XY行程：100mmX100mm
工作臺尺寸： 230X230mm（程控）
選項
FOV鏡頭： 0.5X,，0.75X，1X,，1.5X，2X(可選)
干涉物鏡：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可選)
掃描范圍：多達可達10mm（電機掃描選項）