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PECVD管式爐的主要特點和使用安全性
PECVD管式爐可使用1200度以下,，以硅碳棒或電阻絲為加熱元件，主要特點是分為上下兩個半圓,，在高溫狀態(tài)下需要急速冷卻或換管子時,，可以打開爐膛，觀察物料在高溫狀態(tài)下燒結(jié)狀態(tài),；雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),，能快速升降溫，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,，該爐具有溫場均衡,、表面溫度低、升降溫度速率快,、節(jié)能等優(yōu)點,。此款開啟式管式爐也可以有單管、雙管,、臥式,、可開啟式、立式,、單溫區(qū),、雙溫區(qū),、三溫區(qū)等多種管式爐型,。
PECVD管式爐的主要特點：
1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快,，成膜效果更好,；
2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制,、氣體流量控制,、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng),；
3.管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測,，自動平衡管內(nèi)壓力。
4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,，省時省力,；
5.射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行,；
6.爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求,，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離,；
7.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾,。
PECVD管式爐的使用安全性：
1,、爐膛開啟自動斷電功能，使?fàn)t門打開后自動斷電,。
2,、超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后,，自動斷電及報警,。
3、漏電保護(hù)功能,，當(dāng)爐體漏電時自動斷電,。以上功能確保了使用的安全性。