高溫爐安全操作規(guī)程

 1 準(zhǔn)備工作

　　a,檢查電源線接觸是否良好

　　b,檢查連接線是否正常

　　c,檢查冷卻水是否正常

　　d,檢查密封性是否正常

　　e, 準(zhǔn)備所需工具：無塵紙、*,、帆布手套,、作業(yè)手套、耐高溫手套,、石墨推車,、不銹鋼托盤

　　2 開爐

　　a,打開主電源開關(guān)

　　b, 向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門,，取下石墨蓋板

　　c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT,，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 ,。石墨坩堝,，依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).

　　d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物

　　3裝料

　　a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,，使用限位桿確定其位置,，依次裝入硅料,。

　　b,、拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至 IN,，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會到初始位置,。

　　c,、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓,，關(guān)緊爐門

　　4 抽氣

　　a,、檢查爐門是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封

　　b,、置 DP 按鈕于 DP ON,，打開干式真空泵，打開真空計(jì)開關(guān) P1G1,，打開干式真空泵 ,。閥門，開始抽氣測試泄漏率,，

　　c,、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣(20L/min),。

　　d. 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,，開始工藝加熱,。

　　5.冷卻

　　a、加熱結(jié)束后,，按工藝條件進(jìn)行冷卻,；

　　b、爐內(nèi)溫度降低至 200℃以下,，壓力達(dá)到一個大氣壓后才可打開爐門,，繼續(xù)冷卻。

　　c,、*冷卻至室溫后,，將輸送車開關(guān)打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕,，取出石墨坩堝,，取出硅料，并進(jìn)行分裝,。

　　d,、清掃爐體后關(guān)閉爐門，將爐體抽成負(fù)壓,。

　　e,、清理并妥善放置其它附屬物件。