高溫爐安全操作規(guī)程

 1 準備工作

　　a,檢查電源線接觸是否良好

　　b,檢查連接線是否正常

　　c,檢查冷卻水是否正常

　　d,檢查密封性是否正常

　　e, 準備所需工具：無塵紙,、*,、帆布手套,、作業(yè)手套、耐高溫手套,、石墨推車,、不銹鋼托盤

　　2 開爐

　　a,打開主電源開關

　　b, 向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門,，取下石墨蓋板

　　c, 將輸送車開關打至 OUT,，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 ,。石墨坩堝,，依次放置于石墨推車上輸送車開關.

　　d, 清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物

　　3裝料

　　a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,，使用限位桿確定其位置,，依次裝入硅料。

　　b,、拔出限位桿,，輸送車開關打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,，將坩堝裝入爐膛內,，并確定輸送車會到初始位置。

　　c,、裝入石墨蓋板,，擰緊石墨螺栓，關緊爐門

　　4 抽氣

　　a,、檢查爐門是否關緊,，真空系統(tǒng)是否密封

　　b、置 DP 按鈕于 DP ON,，打開干式真空泵,，打開真空計開關 P1G1，打開干式真空泵 。閥門,，開始抽氣測試泄漏率,，

　　c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,，打開氬氣閥門充氬氣(20L/min),。

　　d. 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN，開始工藝加熱,。

　　5.冷卻

　　a,、加熱結束后，按工藝條件進行冷卻,；

　　b,、爐內溫度降低至 200℃以下，壓力達到一個大氣壓后才可打開爐門,，繼續(xù)冷卻,。

　　c、*冷卻至室溫后,，將輸送車開關打至 OUT,，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕，取出石墨坩堝,，取出硅料,，并進行分裝。

　　d,、清掃爐體后關閉爐門,，將爐體抽成負壓。

　　e,、清理并妥善放置其它附屬物件,。