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PECVD管式爐的主要特點(diǎn)和使用注意事項(xiàng)
PECVD管式爐的主要特點(diǎn)：
1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū),，沉積速度更快,，成膜效果更好,；
2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制,、等離子射頻控制,、氣體流量控制,、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng),；
3.管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測,，自動平衡管內(nèi)壓力。
4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷,，省時(shí)省力,；
5.射頻功率和開關(guān)定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間，自動運(yùn)行,；
6.爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離；
7.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾,。
PECVD管式爐的使用注意事項(xiàng)：
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa,。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),，氣瓶上必須安裝減壓閥,，建議選購減壓閥，使用時(shí)會更加安全,。
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),，保持在常壓狀態(tài),。
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊,。
石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃,。
對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用,。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,，必須立刻打開泄氣閥,，以防意外發(fā)生。