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拉曼光譜技術(shù)在材料科學(xué)研究中的應(yīng)用
閱讀:1893發(fā)布時間:2018-1-15
拉曼光譜在材料科學(xué)中是物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究的有力工具,,在相組成界面、晶界等課題中可以做很多工作,。包括:
?。?)薄膜結(jié)構(gòu)材料拉曼研究:拉曼光譜已成CVD(化學(xué)氣相沉積法)制備薄膜的檢測和鑒定手段。拉曼可以研究單,、多,、微和非晶硅結(jié)構(gòu)以及硼化非晶硅、氫化非晶硅,、金剛石,、類金剛石等層狀薄膜的結(jié)構(gòu)。
?。?)超晶格材料研究:可通過測量超晶格中的應(yīng)變層的拉曼頻移計算出應(yīng)變層的應(yīng)力,,根據(jù)拉曼峰的對稱性,知道晶格的完整性,。
?。?)半導(dǎo)體材料研究:拉曼光譜可測出經(jīng)離子注入后的半導(dǎo)體損傷分布,可測出半磁半導(dǎo)體的組分,,外延層的質(zhì)量,,外延層混品的組分載流子濃度。
?。?)耐高溫材料的相結(jié)構(gòu)拉曼研究,。
(5)全碳分子的拉曼研究,。
?。?)納米材料的量子尺寸效應(yīng)研究。
?。?)薄膜結(jié)構(gòu)材料拉曼研究:拉曼光譜已成CVD(化學(xué)氣相沉積法)制備薄膜的檢測和鑒定手段。拉曼可以研究單,、多,、微和非晶硅結(jié)構(gòu)以及硼化非晶硅、氫化非晶硅,、金剛石,、類金剛石等層狀薄膜的結(jié)構(gòu)。
?。?)超晶格材料研究:可通過測量超晶格中的應(yīng)變層的拉曼頻移計算出應(yīng)變層的應(yīng)力,,根據(jù)拉曼峰的對稱性,知道晶格的完整性,。
?。?)半導(dǎo)體材料研究:拉曼光譜可測出經(jīng)離子注入后的半導(dǎo)體損傷分布,可測出半磁半導(dǎo)體的組分,,外延層的質(zhì)量,,外延層混品的組分載流子濃度。
?。?)耐高溫材料的相結(jié)構(gòu)拉曼研究,。
(5)全碳分子的拉曼研究,。
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