LS高速中空軸電機在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

隨著國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,，制程設(shè)備關(guān)鍵零部件,，LS特研制出的空心軸高速伺服電機,，有著20多年行業(yè)應(yīng)用。服務(wù)于半導(dǎo)體涂膠,、顯影,、清洗設(shè)備中，吸附晶圓工藝,，該電機具備高加速度,，速度范圍寬,，高響應(yīng)性等特點,，在業(yè)內(nèi)廣受客戶好評,。

一、Spinner  Motor中空軸電機的特點

1,、中空軸高速電機結(jié)構(gòu)：額定轉(zhuǎn)速：5000rpm,，最大轉(zhuǎn)速6000-8000rpm

2、超快的加速/減速時間,；

3,、低噪音、低震動,、軸端跳動系數(shù)低至,；

4、軸孔采用真空空心軸設(shè)計,，軸端個性化的設(shè)計,，確保chunk運行平穩(wěn)

5、電機功率:750W,，采用水冷卻系統(tǒng)設(shè)計,，符合6寸、8寸,、12寸晶圓的要求

6,、針對不同用戶可以為客戶進行軸端定制化設(shè)計

二、高速中空電機的應(yīng)用范圍：
1,、曝光顯影設(shè)備 (涂膠,，顯影) 光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層，曝光,，顯影,。
2、清洗,、涂膠,、顯影去膜設(shè)備。
3,、適用于物理沖洗清潔,、顆粒清洗及噴霧工藝。

三,、高速中空軸伺服產(chǎn)品規(guī)格及應(yīng)用領(lǐng)域

1,、 750W – 5000 , 6000 rpm

2、應(yīng)用領(lǐng)域（機型）

l 8寸,、 12寸半導(dǎo)體設(shè)備

l 涂膠,、顯影、清洗,、刻蝕等工藝

l 瞬時加速

l 特殊的軸端設(shè)計,，確保軸端負載跳動平穩(wěn)

               液體散熱