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半導(dǎo)體晶圓清洗涂膠顯影設(shè)備漏液檢測(cè)器

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中國(guó)臺(tái)灣陽明光電式漏液檢測(cè)器

※ 高穩(wěn)定性

※ 高抗干擾力

※ 微量漏液檢出

※ 小型堅(jiān)固外形

※ 耐腐蝕外殼材質(zhì)

需要快速檢測(cè)出有無滲液,，漏液，應(yīng)用場(chǎng)合，及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障，避免更大損失。

廣泛用于半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備,，單片晶圓清洗，槽式清洗,，涂膠顯影,，CMP研磨設(shè)備等。

漏液傳感器1.png



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