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精密蠕動泵會被哪些因素影響流速
閱讀：765 發(fā)布時(shí)間：2019-7-15
精密蠕動泵會被哪些因素影響流速
用于CMP應(yīng)用中的漿料輸送和分配的其他技術(shù),，例如流動回路控制器,，通常需要內(nèi)部空氣，這通常會在處理工具中呈現(xiàn)清潔問題,。但是使用精密蠕動泵,，漿料始終不會在管道內(nèi)受到污染。而且,，使用硅膠管,，即使在連續(xù)運(yùn)行3-6個(gè)月后,，與舊的蠕動管配方相關(guān)的散裂問題也不會成為問題，并且壓力和流量一致性沒有損失,。
精密蠕動泵適用于各種管尺寸,，高科技管材和新型*泵頭設(shè)計(jì)可長時(shí)間長時(shí)間提供準(zhǔn)確，可靠和可重復(fù)的連續(xù)流體傳輸,。準(zhǔn)確擠出,，流量，可提高管道壽命,，精度和壓力性能,。
多種管道選項(xiàng)和各種高性能泵頭可滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的挑戰(zhàn)性要求，包括輸送鎢和氧化物漿液,，去離子水和氫氧化銨,。對于這些關(guān)鍵應(yīng)用，是“當(dāng)性能重要時(shí)”的理想選擇,。
流速是泵的重要參數(shù),，精密蠕動泵中的流速由許多因素決定，例如：軟管ID-更高的流量和更大的ID,；泵頭外徑-更高的流速和更大的外徑,；泵頭轉(zhuǎn)速-更高的流量和更高的轉(zhuǎn)速；進(jìn)口脈動-脈沖減少了軟管的填充量,。
增加輥?zhàn)拥臄?shù)量不會增加流速,，相反，它會通過減少頭部的有效周長來稍微降低流速,。增加滾子確實(shí)傾向于通過增加脈沖流的頻率來減小在出口處脈動的流體的振幅,。
管的長度不影響流速。然而,，較長的管意味著入口和出口之間的夾點(diǎn)更多,，從而增加了泵可以產(chǎn)生的壓力。
在大多數(shù)情況下,，精密蠕動泵的流速不是線性的,。泵入口處的脈動效應(yīng)改變了蠕動軟管的填充程度。在高入口脈動的情況下,，蠕動軟管變成橢圓形,，這導(dǎo)致流量減少。因此,，只有當(dāng)泵具有恒定的流速時(shí),，或者當(dāng)使用正確設(shè)計(jì)的脈動阻尼器*消除了入口脈動時(shí)，才能使用精密蠕動泵進(jìn)行測量,。