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精密蠕動泵會被哪些因素影響流速
閱讀：792 發(fā)布時間：2019-7-15
精密蠕動泵會被哪些因素影響流速
用于CMP應(yīng)用中的漿料輸送和分配的其他技術(shù),，例如流動回路控制器，通常需要內(nèi)部空氣,，這通常會在處理工具中呈現(xiàn)清潔問題。但是使用精密蠕動泵,，漿料始終不會在管道內(nèi)受到污染,。而且，使用硅膠管,，即使在連續(xù)運行3-6個月后,，與舊的蠕動管配方相關(guān)的散裂問題也不會成為問題,，并且壓力和流量一致性沒有損失。
精密蠕動泵適用于各種管尺寸,，高科技管材和新型*泵頭設(shè)計可長時間長時間提供準(zhǔn)確,，可靠和可重復(fù)的連續(xù)流體傳輸。準(zhǔn)確擠出,，流量,，可提高管道壽命，精度和壓力性能,。
多種管道選項和各種高性能泵頭可滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的挑戰(zhàn)性要求,，包括輸送鎢和氧化物漿液，去離子水和氫氧化銨,。對于這些關(guān)鍵應(yīng)用,，是“當(dāng)性能重要時”的理想選擇。
流速是泵的重要參數(shù),，精密蠕動泵中的流速由許多因素決定,，例如：軟管ID-更高的流量和更大的ID；泵頭外徑-更高的流速和更大的外徑,；泵頭轉(zhuǎn)速-更高的流量和更高的轉(zhuǎn)速；進口脈動-脈沖減少了軟管的填充量,。
增加輥子的數(shù)量不會增加流速,，相反，它會通過減少頭部的有效周長來稍微降低流速,。增加滾子確實傾向于通過增加脈沖流的頻率來減小在出口處脈動的流體的振幅。
管的長度不影響流速,。然而,，較長的管意味著入口和出口之間的夾點更多,，從而增加了泵可以產(chǎn)生的壓力,。
在大多數(shù)情況下，精密蠕動泵的流速不是線性的,。泵入口處的脈動效應(yīng)改變了蠕動軟管的填充程度,。在高入口脈動的情況下，蠕動軟管變成橢圓形,，這導(dǎo)致流量減少,。因此，只有當(dāng)泵具有恒定的流速時，或者當(dāng)使用正確設(shè)計的脈動阻尼器*消除了入口脈動時,，才能使用精密蠕動泵進行測量,。