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日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè),、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等,。
特征
?適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）
?被廣泛的使用于的制造業(yè),，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè),。

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量,。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整,。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量,。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,，日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè),、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等,。

特征

· 適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）

· 被廣泛的使用于的制造業(yè),，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè),。

日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器規(guī)格

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	E40	E50
適用氣體種類(lèi)*1		非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2,、空氣,、H2、Ar,、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE,、磁性不銹鋼
閥門(mén)型號(hào)		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2?* F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)		0?* F.S.
響應(yīng)速度		1秒以?xún)?nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復(fù)性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)		0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?* F.S.
流量輸出信號(hào)		0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		1/4SWL 類(lèi)型

型號(hào)	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E60	E70	E80
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	E60	E70	E80
適用氣體種類(lèi)*1		N₂、O₂,、Air,、H₂,、Ar、C₃H₈,、CH₄,、C₄H₁₀		N₂、O₂,、Air,、H₂
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
閥門(mén)型號(hào)		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		5?* F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)		0?* F.S.
響應(yīng)速度		1秒以?xún)?nèi)(T98)		2秒以?xún)?nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直線性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反復(fù)性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差壓值值(適于SEC系列)		100?300kPa(d)	200?350kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa?m³/s(He)以下		450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以?xún)?nèi)
使用環(huán)境溫度		5?45℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)		0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?* F.S.
流量輸出信號(hào)		0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		3/8SWL 類(lèi)型		1/2SWL 類(lèi)型

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類(lèi),，請(qǐng)另行咨詢(xún)協(xié)商,。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢(xún)協(xié)商,。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能,。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下,。
※ SCCM,、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min,、at,、0℃、101.3kPa)的記號(hào),。

日本HORIBA經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

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