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1、常用非接觸測厚儀主要為激光測厚儀和電渦流測厚儀 ,，顧名思義就是測量儀器與被測物體非接觸測量 ,。
2、接觸式測厚儀要為機械式測量的需要通過點與點之間,，或面與面后通過位移差來測量厚度,。
薄膜、薄片厚度測試又該如何去選擇,？
1,、非接觸式測厚設(shè)備對測試試樣都有一定的選擇性，例如激光式測厚儀在適合的領(lǐng)域中能達到較高的測量精度,，但用于檢測表面有著不同光澤度的試樣時會有較大的測試誤差,，同樣該方法的測厚儀對試樣是否透明以及材料表面平整度（薄膜表面看似平整，放大后都是呈現(xiàn)一定凹凸）也有著比較強的選擇性,。電容或電渦流式的測厚儀對金屬及非金屬的測試有著較大的誤差,?？傊墙佑|式測厚儀都有著自己擅長的檢測領(lǐng)域,，在薄膜和金屬方面測試數(shù)據(jù)還是不能滿足的,。
2、機械式測厚儀是一種接觸式測厚設(shè)備,，多采用高精度傳感器,，因為它的測試只和微小位移有關(guān)，所以對試樣沒有選擇性,。按照薄膜厚度國標GB/T6672要求測量面必須保證對薄膜材料表面施加0.1N-0.5N負荷壓力,，機械式測厚儀的測試精度主要取決于位移傳感器的精度，環(huán)境溫度和風(fēng)速會影響傳感器的精度,，因此必須在實驗室環(huán)境內(nèi)使用,。
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