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非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器參數(shù)化仿真與優(yōu)化
以非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器為研究對象,，在電磁分析軟件AnsoftMaxwell2D環(huán)境下，對其進(jìn)行了建模及電磁性能仿真分析,。在軟件腳本錄制功能的基礎(chǔ)上,，提出了一種基于VB Script的差動E+E位移傳感器參數(shù)化建模方法。

非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器參數(shù)化仿真與優(yōu)化
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,非物理量的測試與控制技術(shù),已越來越廣泛地應(yīng)用于各技術(shù)領(lǐng)域,。首先在Ansoft Maxwell中錄制建模及電磁仿真的全過程，保存為腳本文件,，對該腳本文件中的模型設(shè)計參數(shù)進(jìn)行標(biāo)記,；然后把這些標(biāo)記過的參數(shù)動態(tài)修改為設(shè)計者輸入的參數(shù)值，形成Ansoft Maxwell可識別運行的腳本文件,；zui后在Ansoft Maxwell軟件中運行修改好的腳本文件,，即可完成模型的參數(shù)化建模及電磁仿真。針對差動傳感器通常尺寸很小,而斷層尺寸相對較大,導(dǎo)致差動傳感器在待測斷層處安裝不便的情況,提出了一種可用于斷層測量的增量式時柵外腔型移傳感器,。兩根陶瓷插芯從陶瓷套管的兩端插入構(gòu)成EFPI結(jié)構(gòu),通過使用金屬內(nèi)管和金屬外管,增大了差動E+E位移傳感器的尺寸;并且金屬外管的兩端采用O型圈密封,因此該EFPIE+E位移傳感器能夠防水防塵,。以三角測量法為測量原理,采用半導(dǎo)體增量式時柵器作為光源,搭建了基于四象限探測器和基于線陣CCD探測器的兩套測量系統(tǒng),對測量系統(tǒng)中各個部件的選取做了詳細(xì)分析,并從理論和實驗上分析了引起系統(tǒng)測量誤差的各種因素以及消除或者減弱這些影響因素的方法。主要工作如下：設(shè)計了基于四象限的增量式時柵E+E位移傳感器,并對該傳感器進(jìn)行了調(diào)試和標(biāo)定,。達(dá)到了預(yù)期的線性范圍,。為了消除溫度對EFPIE+E位移傳感器的影響,兩根金屬內(nèi)管采用了不同熱膨脹系數(shù)的材料在結(jié)構(gòu)上進(jìn)行溫度補償。在溫度連續(xù)變化的環(huán)境下,對腔長為718.39 m的EFPIE+E位移傳感器進(jìn)行了測量,。測量結(jié)果顯示,經(jīng)過溫度補償設(shè)計后,E+E位移傳感器的溫度系數(shù)由0.14μm/℃下降到了-0.04μm/℃,并呈現(xiàn)過補償,。

非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器參數(shù)化仿真與優(yōu)化
該方法將差動E+E位移傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計和電磁性能仿真有效地結(jié)合起來，縮短了仿真周期,，提高了新產(chǎn)品的開發(fā)效率,。同時大大減少了設(shè)計者的勞動量，為今后各類傳感器的參數(shù)化設(shè)計提供了幫助,。