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上海方未機械設備有限公司
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海德漢新一代電子和半導體生產技術
2024-5-28 閱讀(1514)
海德漢新一代電子和半導體生產技術
HEIDENHAIN海德漢高精度和高產出：詳細了解在HEIDENHAIN 2024半導體活動上亮相的電子和半導體生產的全新解決方案。
海德漢全面提高精度：多達六自由度的編碼器
我們以多自由度技術為基礎設計開發(fā)的編碼器可反饋一個以上自由度的位置,。附加的反饋信號可顯著提高測量精度，檢測其它方向運動的位置誤差并進行補償，避免影響系統(tǒng),。采用此創(chuàng)新技術的編碼器包括PP 6000 Dplus二維編碼器、LIP 6000 Dplus直線編碼器和GAP 1000間隙測量編碼器,。
PP 6000：兩個測量方向,，達到更高精
阿貝（Abbé）誤差影響機床精度。阿貝（Abbé）誤差通常難以測量,，而PP 6000 二維編碼器可測量此誤差,。這款編碼器只需一個讀數頭同時測量兩個方向，測量面尺寸達464 mm x 464 mm,，如果需要更大測量面尺寸,，可根據需要提供。直接測量刀具中心點,，最大限度減小阿貝（Abbé）誤差,，提高設備精度。EnDat 3接口在一條電纜中傳輸兩路位置反饋信號,，因此,，可減少電纜數量和減輕設置工作。PP 6000 編碼器優(yōu)化運動系統(tǒng)的動態(tài)性能,。
LIP 6000 Dplus : 1條柵尺,，1個讀數頭，2個自由度
LIP 6000 Dplus在一個光柵基體上提供兩條獨立的光柵刻軌，交叉角為+45°和–45°,。專用的掃描場讀數頭直接掃描每一條光柵,，在測量范圍的全長上沿X軸主方向和Y軸輔助方向精確進行測量。接口為EnDat 3,，因此可用一條電纜將兩組位置值發(fā)給控制系統(tǒng),。顯著簡化電纜連接，簡化編碼器安裝和提高運動系統(tǒng)動態(tài)性能,。
輕松檢查設備精度：基于LIP 6000 Dplus的校準工具
我們提供以LIP 6000 Dplus為基礎的校準工具,，可用其隨時檢測和調整設備。設備的校準并非日常任務,，用戶可租用我們的校準工具,，這是HEIDENHAIN的一項服務，用戶無需購買和持有自己的校準工具,。我們提供認證的校準工具,，在需要時可方便地用其檢查系統(tǒng)精度。
GAP 1081: 平面外間隙測量
海德漢全新的間隙測量編碼器GAP 1081,?？蓽y量特殊鏡面與讀數頭間的垂直間隙。因此,，可用GAP 1081進行簡單的垂直位置測量,。也可以安裝在平行于直線光柵尺的方向上，例如LIP 6000 Dplus,，在直線軸方向上連續(xù)進行垂直測量,。GAP 1081的鏡面長度可達3 m。如果在鏡面上使用兩個讀數頭,，則可同時測量直線軸的俯仰和偏向,。
海德漢MRP 8081 Dplus：充分發(fā)揮編碼器的精度優(yōu)勢
盡管編碼器提供認證的精度和精度檢定圖，但在應用中也可能無法充分發(fā)揮精度優(yōu)勢,。原因多種多樣,，特別是編碼器被安裝在剛性不足的部件上時。MRP 8081 Dplus提供可轉移精度,，確保在應用中最大限度達到的精度,。此技術使用了以下特性：
海德漢高剛性的軸承
四個讀數頭
為控制系統(tǒng)提供全套校準數據
MRP 8081 Dplus提供這些特性，在給定安裝條件,、擺動負載或其它外部條件下,，例如振動、突發(fā)的機械負載和溫度波動,，系統(tǒng)精度可達±0.2角秒,。提高精度和工作性能,，在不犧牲精度的條件下達到更高電機轉速。
除高精度角度測量外,，MRP 8081 Dplus的四個讀數頭還能測量軸的徑向導向誤差,。未來，專用的電子電路可分析四路讀數頭信號,，補償這些誤差,。
重負載軸：不受齒槽扭矩或徑向力影響
海德漢MRP角度編碼器模塊與ETEL力矩電機珠聯璧合共同打造平滑性的運動控制系統(tǒng)。無論齒槽扭矩還是徑向力對軸承的導向精度都沒有影響,。我們還提供SRP 5000角度編碼器模塊,，這是一款緊湊、超薄和高剛性的角度編碼器,。其部件的高剛性還能確保在變化的負載條件下達到一致的高精度,。
HEIDENHAIN為高動態(tài)性能旋轉軸開發(fā)敞開式編碼器：ERO 2000，現在提供多自由度技術的ERP 1080 Dplus
電子和半導體生產是高速發(fā)展的行業(yè),。HEIDENHAIN不斷開發(fā)敞開式編碼器,，滿足高速發(fā)展要求。ERO 2000增量式角度編碼器就是這樣一款產品,，這款編碼器專用于空間有限和高動態(tài)性能的應用，例如掃描振鏡,。而且,，ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此產品線中的一款產品,，含四個讀數頭,，其工作可靠性和安裝優(yōu)點與MRP 8081 Dplus角度編碼器模塊相同。
總線式工作的EnDat 3接口：高速,，易用,，經濟
要實現系統(tǒng)的緊密集成，同時面向未來的數字化時代,，包括總線式工作要求,，EnDat 3是編碼器接口的理想選擇。EnDat 3可為自動化系統(tǒng)減少連接電纜數量,，可提供豐富的診斷功能,，可實現更高安全性和可靠性。該接口提供通用型通信技術,，可傳輸豐富的數據,，不僅包括位置反饋數據，還包括傳感器數據,、系統(tǒng)監(jiān)測數據和自動配置數據,。
高動態(tài)性能直驅電機的理想選擇：RSF靈活的模塊型光柵尺和編碼器
RSF的直線光柵尺和角度編碼器采用模塊化設計,，應用靈活，可輕松集成在應用系統(tǒng)中,。這些光柵尺和角度編碼器支持大量不同接口,，可輕松連接常用的控制系統(tǒng)和支持不同的物理設計。其它獲益還包括寬松的安裝公差和易于安裝,。RSF的全新MCR 16角度編碼器可達更高信號質量,。
LIC 3000：高動態(tài)性能直線軸的海德漢敞開式直線光柵尺
LIC 3000系列光柵尺是繼LIC 4000系列和LIC 2000系列敞開式絕對直線光柵尺之后的又一個產品線。LIC 3000測量步距僅10 nm,，運動速度可達600 m/min,。LIC 3000直線光柵尺可進行直線軸高動態(tài)性能和高精度位置測量，測量長度可達10 m,。
LIC 3000的大型掃描場可有效提高抗污性能,。測量基準的局部污染對信號質量和測量穩(wěn)定性的影響十分有限。由于LIC 3000系列敞開式直線光柵尺動態(tài)性能高,，測量長度大和堅固耐用,，因此，這款光柵尺應用靈活,，在更多的應用中都能充分發(fā)揮LIC光柵尺的優(yōu)勢,。
超薄直線光柵尺：NUMERIK JENA的LIKgo和LIKselect
NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞開式直線光柵尺是狹小安裝空間和高精度應用的理想選擇。
標準型的LIKgo光柵尺的突出特點是體積小,，重量輕,。讀數頭尺寸僅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量僅10 g。這款光柵尺采用新開發(fā)的20 µm柵距的兩場掃描技術,，測量步距可達78.125 nm的精度,，并提供高質量信號和優(yōu)異的抗污性能。
為滿足量身定制要求,，LIKselect光柵尺結合NUMERIK JENA的Kit L系列優(yōu)點,，可以靈活配置編碼器功能特性，滿足個性化的應用需求,。
海德漢新一代電子和半導體生產技術
