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產品簡介
詳細介紹
電腦式HMDS 涂膠機 HMDS 預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中,，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質量直接影響到光刻的質量,，涂膠工藝也顯得尤為重要,。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,，尤其是正膠,，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條,、浮膠等,，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕,。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況,。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物,。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用,。
電腦式HMDS 涂膠機
一,、HMDS 預處理系統的應用領域：在勻膠前的硅片等基片表面均勻涂布一層HMDS。作用：降低HMDS處理后的硅片接觸角,，進而降低勻膠時光刻膠在硅片表面鋪展開的難度,，提高光刻膠與硅片的黏附性，降低光刻膠的用量,。
二,、HMDS 預處理系統的原理： 預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間,、處理時保持時間等參數可以在硅片,、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角,，降低了光刻膠的用量,，提高光刻膠與硅片的黏附性。
三,、 HMDS 預處理系統的一般工作流程： 1. 首先設定烘箱工作溫度,。
2. 待腔體三面加熱箱體使溫度達到150（或設定溫度）度左右
3. 開始保持一段時間，使硅片充分受熱,，減少硅片表面的水分,。
4. 打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到設定真空度后
5. 開始充入氮氣,，充氮氣到達到設定真空度后,，
6. 再次進行抽真空、充入氮氣的過程,，到達設定的充入氮氣次數后,，
7. 然后再次開始抽真空到進藥夜真空值，
8. 加熱HMDS管道，
9. 充入HMDS氣體到達設定時間后,，停止充入HMDS藥液,，
10. 進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應,。
11. 當達到設定的保持時間后,，再次開始抽真空，充氮氣,，
12. 反復數次到設定次數,，完成整個作業(yè)過程。
電腦式HMDS 涂膠機 說明：去除硅片表面的水分,，然后HMDS與表面的OH一反應,，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作,，從而使極性表面變成非極性表面,。整個反應持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進一步反應
五. 尾氣排放等：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道,。
在無廢氣收集管道時需做專門處理。
六. 主要技術指標：
6.1 機外殼采用優(yōu)質冷軋鋼板,，烤漆制造,，內膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分
布在內膽外壁四周,，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置,。鋼化、雙層玻璃門
觀察工作室內物體一目了然,。
6.2 箱門閉合松緊能調節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度,。
6.3 微電腦智能控溫儀,，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,，控溫精確,，
可靠。
6.4 智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,，溫度,，
真空度及每一程序時間。
6.5 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,，真空箱密封性能佳,，確保HMDS氣體無外漏
顧慮。整個系統采用優(yōu)質材料制造，無發(fā)塵材料,，適用100級光刻間凈化環(huán)境,。
6.6 HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,，使轉為HMDS氣態(tài)
時更易.
6.7 低液報警裝置,，采用的液體感測器，能及時靈敏給出指令（當HMDS
液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能）
6.8 溫度與PLC聯動保護功能（當PLC沒有啟動程序時,，加溫功能啟動不了,，相反
加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,，發(fā)出警報）
6.9整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316醫(yī)用不銹鋼材料,，整體使用無縫焊接
（避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）
七、整機尺寸,、真空腔體尺寸：7.1 內膽尺寸：450X450X450mm) 外尺寸W1030*H1730*L900mm 容積：90L
7.2 載物托架：2塊
7.3 室溫+30℃-200℃（高溫度250℃）
控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃ 溫度波動度：±0.5℃
7.4 真空泵：采用防油泵,，旋片式油泵真空度：133pa，
7.5 加熱方式：腔體下部及兩側加溫,。加熱器為外置加熱板 7.6 可放2寸晶圓片,4寸晶圓片,6寸晶圓片,8寸晶圓片,12寸晶圓片,；
7.7開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘(按
產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫））；
7.8 外殼采優(yōu)質冷軋銹鋼板烤漆處理,，內膽采不銹鋼采用SUS316材質,。
八. 安全保護措施： 安全可靠的接地保護裝置；工作室超溫保護; 加熱器短路保護,。
九,、設備使用條件：
9.1 環(huán)境條件：溫度5～35℃；濕度：≤85%R.H,；
9.2電源：電源電壓：AC220V±10%/50Hz±2% 輸入功率：2400W
9.3 排風要堿性廢氣排風（廢氣要處理）;
9.4 接氣：?8快接
十. 配備技術資料及附件：技術資料,、產品合格證、使用說明書,、電氣原理圖等,。
十一. 包裝及運輸方式：包裝：滿足要求的運輸包裝箱；運輸方式：公路運輸,。
十二. 驗收標準及方法：
12.1 驗收標準：雙方簽定之“技術協議書"或國家相關標準,；
12.2 驗收方法：在需方現場進行正式驗收。
十三. 售后服務：設備驗收合格之日起,，保修一年,，在保質期內除人為損壞外免費維修，不收取任
何費用,，終身提供維修,。（注：箱體密封圈屬易損耗件,，不屬于保修范圍。請另行購買,。）
十四,、產品如圖：