產(chǎn)品簡介
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡,;為用戶提供高效率。
MX61適用于Z大200mm的樣本,,而MX61L則可適用于Z大300mm的樣本,。
采用高NA的透射光聚光鏡,圖象更銳利,。
多種觀察方式,,多種照明方式,多種附件以滿足不同應(yīng)用要求,。
4,、透射和反射照明可同時使用,極大提高
詳細(xì)介紹
奧林巴斯MX61顯微鏡,,UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng))
12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型) 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組(選配) ,,轉(zhuǎn)換使用內(nèi)置電動孔徑光闌(每個物鏡可預(yù)設(shè),物鏡轉(zhuǎn)換時自動轉(zhuǎn)換,,暗視場觀測時自動打開)
超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置)
奧林巴斯MX61顯微鏡,,①反射光明視場法,;②反射光暗視場法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法,;④反射光簡單偏振法,;⑤反射光熒光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場法,;⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組,。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
奧林巴斯MX61顯微鏡,,半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡,;為用戶提供高效率。
MX61適用于zui大200mm的樣本,,而MX61L則可適用于zui大300mm的樣本,。
1、大型載物臺搭載:可用于400*300mm液晶基板,,300mm晶圓全面檢查(MX61L),。
2、采用高NA的透射光聚光鏡,,圖象更銳利,。
3、多種觀察方式,,多種照明方式,,多種附件以滿足不同應(yīng)用要求。
4,、透射和反射照明可同時使用,,極大提高液晶基板觀察效果。