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奧林巴斯OLYMPUS MX63L顯微鏡在FAB廠中的應(yīng)用
閱讀：851 發(fā)布時間：2019-1-9
奧林巴斯OLYMPUS MX63L顯微鏡在FAB廠中的應(yīng)用
半導(dǎo)體這個大家在熟悉不過的一個名字,，它的應(yīng)用在我們生活中的各個方面,，小到手表手機,，大到汽車飛機宇航船等,！隨著檢測工藝要求的提高,，對半導(dǎo)體精度和體積都有了非常高的要求,，其中晶圓片（IC）生產(chǎn)工藝已經(jīng)達到納米的級別,，那么對晶圓檢測都使用什么來進行檢測呢？
首先晶圓有4寸,，6寸,，8寸，12寸,，現(xiàn)階段主流的是8寸晶圓,，在對其進行檢測使用的是光學(xué)顯微鏡，其放大倍數(shù)到1000倍,，主要是觀察表面是否有劃痕劃傷等表面檢測,，OLYMPUS MX63L搭載12寸平臺，也就是說這個顯微鏡可以檢測所有尺寸的的晶圓片,。
在FAB廠中因為生產(chǎn)量大,，而且還要對每一個晶圓片進行檢測，所以OLYMPUS MX63L還可以和晶圓半送機配套使用,，這樣就減少了人用手來接觸而造成污染,。
生產(chǎn)工藝要求越來越高，所有配備的OLYMPUS MX63L顯微鏡可以在生產(chǎn)中得到率,，提升晶圓的良率,！