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奧林巴斯測量顯微鏡STM7
奧林巴斯測量顯微鏡STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和先進(jìn)的測量能力實現(xiàn)測量 ,，多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能。STM7系列采用了當(dāng)前先進(jìn)光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng),。因此,，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外,，像差也被*消除,，以確保實現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。 花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性
STM7-LF FEM 分析為了進(jìn)一步保證測量精度,，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架,。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達(dá)亞微米水平,，同時確保降低誤差,。作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
主動反射,，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須,。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射,、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求,。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
測量顯微鏡溯源系統(tǒng)
奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的度,。 并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
奧林巴斯測量顯微鏡STM7 在設(shè)計上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺
常見問題
短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求,。
目前為止,，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小,。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,，這樣的做法費事費時，效率不高,。
由于可測量的范圍窄,，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量,。
奧林巴斯測量顯微鏡STM7 解決方案
共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm),。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品,。
采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換,。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭,。
300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板,。