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HYDAC賀德克HDA3844-A-016-000傳感器

賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體,、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱,，也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計,。力敏傳感器的種類甚多,、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,，但它的體積大,、粗笨,、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小,、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點,，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用,。當對一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時,，其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),，利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型,，一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器,，稱為粘貼型壓阻式傳感器,，另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，使應(yīng)變計與硅襯底形成同一整體的傳感器,，稱為擴散型壓阻式傳感器,。

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