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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
離子濺射儀
產(chǎn)品介紹：
TT-29-LZ-Ⅱ離子濺射儀是一種小型鍍膜裝置,，可用作掃描電鏡,、電子探針等儀器進行試樣制備，是開展教學(xué)科研實驗的*儀器,。
鍍膜原理與結(jié)構(gòu)：
TT-29-LZ-Ⅱ鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,，靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜，形成導(dǎo)電層,。
該為二極結(jié)構(gòu),，以基臺和樣品架為正電極與儀器外殼相連并接地，濺射靶電極為負(fù)電極（加負(fù)高壓）,，它們被安裝在玻璃罩的真空腔內(nèi),，當(dāng)腔內(nèi)達到一定真空度，在負(fù)高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,，其中正離子在電場加速下,，獲得足夠能量轟擊負(fù)電極上的靶面,，靶面被濺射原子沉淀于基臺的樣品表面形成導(dǎo)電膜，以供上述儀器分析,。
技術(shù)參數(shù)：
1,、型號：TT-29-LZ-Ⅱ
1、真空腔：￠150×12 硼酸硅質(zhì)玻璃
2,、濺射靶尺寸：￠55×0.3
3,、基臺： ￠50 6-8個樣品
4、極間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm
5,、濺射電壓： -2000V-0 DC連續(xù)可調(diào)
濺射電流0-30 mA
6,、定時器：0-99分?jǐn)?shù)字顯示
7、真空測量：1×105-1.0×10-1pa 數(shù)字顯示,，單片機控制，數(shù)字顯示,，具有真空保護鎖設(shè)置,。
8、控制系統(tǒng)：單片機控制,，完成真空自動測量,、顯示、定時器倒計時功能以及自動完成鍍膜程序,。
9,、真空泵：2L/S二級旋片式直聯(lián)機械泵，極限真空度6×10-1pa
10,、充氣閥：金屬微調(diào)針型閥 保護氣體 99.9%純度氬氣（推薦）
11,、外形尺寸：長354mm ×高216mm ×深340mm
12、電源：AC 220V 50HZ
特點：
1,、人性化設(shè)計,，整體性好；
2,、單片機控制,，操作方便簡潔；
3,、用戶可根據(jù)實驗需要自由設(shè)置濺射操作的工藝參數(shù),，使用靈活、方便,；
4,、儀器有真空鎖保護設(shè)置，使儀器可靠性安全性好,；
