高精密勻膠機  

LH3-SC200-SE精密勻膠機是一種小型,、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性,。  

不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀,；工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計和程序,，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義,；同類產(chǎn)品中的zui大達到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性,。  

主要性能指標：  

主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  

旋涂程序：zui多存100組程序,，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒  

轉(zhuǎn)動速度：0-5,000rpm（更高速可選）,，考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  

旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選）,，考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  

馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1rpm  

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,，重復(fù)性<1rpm  

工藝時間設(shè)定：0-3,000sec/step,，時間設(shè)置精度：0.1sec  

支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  

旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）  

產(chǎn)品特性優(yōu)點：  

的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸,。  

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),，更方便操作。  

on®/polyethylene“密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝,。  

標準配置轉(zhuǎn)速5000rpm,，并可根據(jù)用戶需要進行定制,。  

采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部,。  

機身選用耐酸堿,、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,，*生銹,，便于清洗。  

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部（以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）,。  

透明可視,，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā),。

產(chǎn)品外型尺寸：  

613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)