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產品簡介
詳細介紹
高精密勻膠機
LH3-SC200-SE精密勻膠機是一種小型,、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性,。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀,；工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于track設備相同設計和程序,，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中的zui大達到50000rpm/s的旋轉加速度,，確保旋轉勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復性,。
主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多存100組程序，每組100步,，每個步驟可精確到0.1秒
轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選）,，考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s
馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差<±1rpm
轉速調節(jié)精度<1rpm,，重復性<1rpm
工藝時間設定：0-3,000sec/step,，時間設置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）
旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
產品特性優(yōu)點：
的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸,。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),，更方便操作。
on®/polyethylene“密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝,。
標準配置轉速5000rpm,，并可根據(jù)用戶需要進行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機,，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部,。
機身選用耐酸堿、耐沖擊,、耐腐蝕不銹鋼,，*生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部（以利于排風效率和勻膠均一性）,。
透明可視,，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā),。
產品外型尺寸：
613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)