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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
數(shù)字式四探針測試儀
產(chǎn)品介紹
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,，連接電腦使用帶自動測量功能,，自動選擇適合樣品測試電流量程；
高速并口通訊接口,，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒,；
AA54-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。
儀器由主機(jī)、測試臺,、四探針探頭,、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計,、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點,。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
AA54-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析,。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
技術(shù)指標(biāo)
| 測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展),； |
| 方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),； | |
| 電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； | |
| 電阻：0.0001～2000Ω.cm,； | |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),； |
| 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； | |
| 400mmX500mm(配S-2C型測試臺),； | |
| 恒流源 | 電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； |
| 分辨力：10μV,； | |
| 輸入阻抗：>1000MΩ,； | |
| 精度：±0.1% ； | |
| 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動顯示； | |
| 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm,； |
| 針間絕緣電阻：≥1000MΩ,； | |
| 機(jī)械游移率：≤0.3%； | |
| 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,； | |
| 探針壓力：5～16 牛頓(總力),； | |
| 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
| 模擬電阻測量相對誤差 | 0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| ( 按JJG508-87進(jìn)行) | |
| 整機(jī)測量zui大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
| 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
| 測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試 |
| 軟件功能（選配） | 軟件可記錄、保存,、打印每一點的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值,、zui小值、平均值,、zui大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
| 計算機(jī)通訊接口 | 并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒 |
| 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； |
| 相對濕度：≤65%,； | |
| 無高頻干擾,； | |
| 無強(qiáng)光直射； |