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雙電測四探針測試儀

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  • 型號 AA54-SDY-5
  • 品牌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2016-08-29 22:12:33瀏覽次數(shù):249

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產品簡介

北京精測電子生產的雙電測四探針測試儀,特別適用于測量片狀半導體材料電阻率以及硅擴散層,、離子注入層,、異型外延層等半導體器件和液晶片導電膜、電熱膜等薄層(膜)的方塊電阻,。

詳細介紹

雙電測四探針測試儀  

 

 

產品介紹

AA54-SDY-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙位組合測量技術,利用電流探針,、電壓探針的變換,進行兩次電測量,,能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,從而提高了測量結果的準確度,。

使用本儀器進行測量時,,由于不需要進行幾何邊界條件和探針間距的修正,因而對各種形狀的薄膜材料及片狀材料有廣泛的適用性,。儀器特別適用于測量片狀半導體材料電阻率以及硅擴散層,、離子注入層,、異型外延層等半導體器件和液晶片導電膜、電熱膜等薄層(膜)的方塊電阻,。  

儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,特別采用了平面輕觸式開關設計和各種工作狀態(tài)LED指示.并應用了微計算機技術,利用HQ-710F型微計算機作為測量控制及數(shù)據(jù)處理器,使得測量,、計算、讀數(shù)更加直觀,、快速,,并能打印全部預置和測量數(shù)據(jù)。  

 

技術指標:  

1,、測量范圍:電阻率:0.001-200Ω.cm(可擴展)  

薄層電阻:0.01-2000Ω/口(可擴展)  

可測晶片厚度:≤3.00mm  

2,、恒流電源:電流分為100mA、1mA,、10mA,、100ma四檔;連續(xù)可調,;穩(wěn)定度優(yōu)于0.3%  

3,、數(shù)字電壓表:量程:0-199.99mV;分辨率:0.01mV精度:±0.1%  

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性,、小數(shù)點,、超量程自動顯示;  

4,、模擬電路測試誤差:(用1,、10、100,、1000?精密電阻測量)≤±0.3%±1字;  

5,、整機準確度:(用0.01至180Ω.cm硅標樣片測試)≤4%  

6、微計算機功能:  

A鍵盤控制測量取數(shù),,自動控制電流換向和電流,、電壓探針的變換,并進行正,、反向電流下的測量,,顯示出平均值  

B鍵盤控制數(shù)據(jù)處理,按內存公式計算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化,。  

C鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù),。包括測量條件,各次測量平均值,、zui大值,、zui小值,百分變化等數(shù)據(jù)。  

7,、外形尺寸:電氣主機:360mm×320mm×100mm;微計算機:300mm×210mm×105mm  

8,、儀器重量:電氣主機:約4kg,;測試架(J-2A型):約5kg;微計算機:約2.5kg;  

9、電源:AC220V±10%,50Hz,功率<25W  

10,、測試環(huán)境:溫度23±2℃,;相對濕度≤65%;無高頻干擾,;無強光照射,。

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