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詳細(xì)介紹
單晶少子壽命測試儀
產(chǎn)品介紹
AA54-LT-2型單晶少子壽命測試儀是參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的用于測量硅單晶的非平衡少數(shù)載流子壽命。半導(dǎo)體材料的少數(shù)載流子壽命測量,，是半導(dǎo)體的常規(guī)測試項目之一,。本儀器靈敏度較高，配備有紅外光源,，可測量包括集成電路級硅單晶在內(nèi)的各種類型硅單晶,，以及經(jīng)熱處理后壽命驟降的硅單晶、多晶磷檢棒的壽命測量等,。
本儀器根據(jù)通用方法高頻光電導(dǎo)衰退法的原理設(shè)計,，由穩(wěn)壓電源、高頻源,、檢波放大器,，特制的InGaAsp／InP紅外光源及樣品臺共五部份組成。采用印刷電路和高頻接插連接,。整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,、測量數(shù)據(jù)可靠。
技術(shù)指標(biāo)：
| 測試單晶電阻率范圍 | >2Ω.cm |
| 可測單晶少子壽命范圍 | 5μS～7000μS |
| 配備光源類型 | 波長：1.09μm,；余輝<1 μS,； |
| 閃光頻率為：20～30次／秒； | |
| 閃光頻率為：20～30次／秒,； | |
| 高頻振蕩源 | 用石英諧振器,，振蕩頻率：30MHz |
| 前置放大器 | 放大倍數(shù)約25，頻寬2 Hz-1 MHz |
| 儀器測量重復(fù)誤差 | <±20％ |
| 測量方式 | 采用對標(biāo)準(zhǔn)曲線讀數(shù)方式 |
| 儀器消耗功率 | <25W |
| 儀器工作條件 | 溫度： 10-35℃,、 濕度 < 80％,、使用電源：AC 220V，50Hz |
| 可測單晶尺寸 | 斷面豎測：φ25mm—150mm,； L 2mm—500mm,； |
| 縱向臥測：φ25mm—150mm； L 50mm—800mm,； | |
| 配用示波器 | 頻寬0—20MHz,； |
| 電壓靈敏：10mV／cm； |
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