等離子清洗機是一種全新的高科技技術,，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果,。等離子體是物質的一種狀態(tài),，也叫做物質的第四態(tài),。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的活性組分包括：離子,、電子,、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等,。
等離子清洗機清洗微埋盲孔效果好：
等離子體清洗是指高度活化的等離子體在電場的作用下發(fā)生定向移動，與孔壁的鉆污發(fā)生氣固化學反應,，同時生成的氣體產物和部分未發(fā)生反應的粒子被抽氣泵排出,。
等離子體在HDI板盲孔清洗時一般分為三步處理，*階段用高純的N2產生等離子體,，同時預熱印制板,，使高分子材料處于一定的活化態(tài)；第二階段以O2、CF4為原始氣體,，混合后產生O,、F等離子體，與丙烯酸,、PI,、FR4、玻璃纖維等反應,，達到去鉆污的目的,；第三階段采用O2為原始氣體，生成的等離子體與反應殘余物使孔壁清潔,。
在等離子清洗過程中,，除發(fā)生等離子化學反應，等離子體還與材料表面發(fā)生物理反應,。等離子體粒子將材料表面的原子或附著材料表面的原子打掉,，有利于清洗蝕刻反應。
隨著材料和技術的發(fā)展,，埋盲孔結構的實現將越來越小,，越來越精細化；在對盲孔進行電鍍填孔時,，使用傳統(tǒng)的化學除膠渣方法將會越來越困難,，而等離子處理的清洗方法能夠很好地克服濕法除膠渣的缺點，能夠達到對盲孔以及微小孔的較好清洗作用,，從而能夠保證在盲孔電鍍填孔時達到良好的效果,。
同時等離子清洗機采用數控技術，自動化程度高,；具有高精度的控制裝置,，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層,，表面質量得到保證,；由于是在真空中進行，不污染環(huán)境,，保證清洗表面不被二次污染,。
10
