等離子體和固體,、液體或氣體一樣,，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離子化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的"活性"組織分包括：離子、電子,、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等,。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性,、光刻膠灰化等目的,。

等離子清洗機(jī)的工作原理：

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài),、液態(tài),、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,，如地球大氣中電離層中的物質(zhì),。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子,、分子,、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子,、分子,；未反應(yīng)的分子、原子等,，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài),。

在真空腔體里,，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗,樣品表面改性之目的,。

等離子體的種類：

活潑氣體和不活潑氣體等離子體,，根據(jù)產(chǎn)生等離子體時(shí)應(yīng)用的氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，可分為不活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體兩類,，不活潑氣體如氬氣（Ar）,、氮?dú)猓∟2）、氟化氮（NF3）,、四氟化碳（CF4）等,，活潑氣體如氧氣（O2）、氫氣（H2）等,，不同類型的氣體在清洗過(guò)程中的反應(yīng)機(jī)理是不同的,，活潑氣體的等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性

等離子清洗機(jī) 機(jī)理分析

通俗的講就是：等離子體清洗的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的,。

等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),，受電場(chǎng)作用,，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,，在任何暴露的表面引起反應(yīng),，不同氣體的等離子體具有不同的性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,，從而達(dá)到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,，這樣就能滿足刻蝕的需要,。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱之為輝光放電處理

詳細(xì)的來(lái)解釋：電漿與材料表面可產(chǎn)生的反應(yīng)主要有兩種,，一種是靠自由基來(lái)做化學(xué)反應(yīng),，另一種則是靠等離子作物理反應(yīng)，以下將作更具體的說(shuō)明

（1）化學(xué)反應(yīng)（Chemical reaction）--高頻電源—低電場(chǎng)---大概60V左右激發(fā)

     在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）,、氧氣（O2）,、甲烷（CF4？）等,，這些氣體在電漿內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基,這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面作反應(yīng),其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來(lái)與材料表面做化學(xué)反應(yīng),，在壓力較高時(shí),，對(duì)自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時(shí),，就必須控制較高的壓力來(lái)近進(jìn)行反應(yīng)

（2）物理反應(yīng)（Physical reaction）--低頻電源--高電場(chǎng)---大概1000V左右激發(fā)

主要是利用等離子體里的離子作純物理的撞擊,，把材料表面的原子或附著材料表面的原子的共價(jià)鍵打開(kāi)，由于離子在壓力較低時(shí)的均勻自由基較輕長(zhǎng),，形成能量的累積,，因而在物理撞擊時(shí)，離子的能量越高,，越是有利于撞擊,，所以若要以物理反應(yīng)為主時(shí)，就必須控制較低的壓力下來(lái)進(jìn)行反應(yīng),，這樣清洗效果較好