Heimann Sensor真空傳感器HVS 系列
產(chǎn)品型號：HVS vac04 關(guān)鍵字：Heimann Sensor真空傳感器HVS系列 關(guān)鍵字描述：HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片,。 產(chǎn)品介紹：HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片,。硅批處理技術(shù)可實現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn),。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標準測量范圍擴展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型傳感器,，基于薄微機械膜上的加熱電阻器結(jié)構(gòu),，傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。 參數(shù)： 參數(shù) HVS Vac03g HVS Vac03k HVS Vac04 單位 外殼 TO8 TO39 TO39（單個） TO8（雙） 芯片尺寸 5.2x5.2 4.0x4.0 1.2x1.2 mm2 傳感器電阻RP（典型值） 8.5 8.5 1 kOhm 片上參考電阻RK（典型值） 8.5 8.5 1 kOhm 電源電壓U0 (max.) 3.5 3.2 4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar） volt 工作溫度 -20..120 °C 儲存溫度 -40..120 °C
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