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API美國*激光干涉儀

 激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至標(biāo)準(zhǔn),，是迄今*的高精度,、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。 
    激光干涉儀集光,、機、電,、計算機等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)zui高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文、英文和俄文語言,，友好的人機界面,、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?br />    激光干涉儀具有測量精度高,、測量范圍大,、測量速度快、zui高測速下分辨率高等優(yōu)點,，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。在激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

API美國*激光干涉儀

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡,，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡,，重新匯聚之后返回激光器,，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時,，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號,。 
    若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時,，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

激光具有高強度,、高度方向性,、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點,。目前常用來測量長度的干涉儀,，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng),。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置,、速度,、角度、真平度,、真直度、平行度和垂直度等測量工作,，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作,。

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