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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NanoCalc是一種用戶可配置的膜厚測(cè)量系統(tǒng),，膜厚系統(tǒng)光譜儀利用分光光譜反射儀來(lái)精確地測(cè)量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中,。
利用白光干涉測(cè)量法的原理，NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù),，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化,，NanoCalc根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中,，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述,，

詳細(xì)介紹

膜厚系統(tǒng)光譜儀

NanoCalc光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀

NanoCalc是一種用戶可配置的膜厚測(cè)量系統(tǒng)。精確地測(cè)量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度,，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中。

利用白光干涉測(cè)量法的原理,，NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù),，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚,。在NanoCalc中,，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述，從而保證了不同類型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性,。NanoCalc的膜厚測(cè)量范圍為1nm到1mm,，只要待測(cè)材料有一定的透射或反射就能通過(guò)NanoCalc進(jìn)行膜厚測(cè)量，這些材料包括氧化物,、氮化物和保護(hù)膜層等,，通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。

1nm以上的金屬膜厚也能測(cè)量,，只要不是*不透光的,。對(duì)于已知的系統(tǒng)，3層以內(nèi)的多層膜厚測(cè)量可以在不到一秒鐘時(shí)間內(nèi)完成,。

通常擬合曲線和實(shí)際曲線由于干涉會(huì)引起一些差異,，NanoCalc的算法充分考慮到了這一點(diǎn)，從而可以在比較粗糙的表面進(jìn)行測(cè)量,。

產(chǎn)品主要優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)

UV/VIS/NIR高分辨率的配置
測(cè)量準(zhǔn)確度在1nm,，精度在0.1nm
可測(cè)量zui大10層薄膜
膜厚測(cè)量zui小可至1nm，zui大可至1mm
可測(cè)量zui小1nm厚的透明金屬層
提供試驗(yàn)臺(tái)及附件用于復(fù)雜外形材料的測(cè)量
對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫(kù),，保證各種材料的精確測(cè)量

快速：	每次測(cè)量只需輕點(diǎn)一下鼠標(biāo),，測(cè)量結(jié)果立即呈現(xiàn)在顯示屏上，不到一秒鐘,。應(yīng)用于在線模式下,，可接受到采樣信號(hào)后，立即測(cè)量,。
準(zhǔn) 確：	分辨率0.1nm,，重復(fù)性0.3nm，準(zhǔn)確度優(yōu)于1%,，并且還有數(shù)百種材料組成的龐大材料庫(kù),，幫助您準(zhǔn)確分析您的薄膜。同時(shí)NanoCalc為光學(xué)測(cè)試系統(tǒng),，無(wú)任何運(yùn)動(dòng)部件,，不會(huì)由于多次測(cè)量產(chǎn)生回程誤差等機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作,。
無(wú) 損：	光學(xué)無(wú)損檢測(cè),，無(wú)需像臺(tái)階儀、SEM等需破壞樣品進(jìn)行測(cè)量,。
靈活：	重量約為3.5kg,，體積為180150263mm，USB連接方式,，自適應(yīng)90-240V的電壓,，攜帶方便，安裝簡(jiǎn)單,，可任意放置于實(shí)驗(yàn)室,、生產(chǎn)線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件,，可適用如非平面測(cè)量,，顯微測(cè)量,，mapping等特殊要求。
易用：	軟件界面直觀,，操作簡(jiǎn)便,，用戶體驗(yàn)出色。無(wú)需專業(yè)知識(shí)以及復(fù)雜的技術(shù)培訓(xùn),，預(yù)先設(shè)置好測(cè)試配方后,，每次重復(fù)調(diào)用即可。
性價(jià)比高：	相對(duì)于傳統(tǒng)膜厚測(cè)量設(shè)備,，NanoCalc擁有非常高的性價(jià)比,。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體

SiO2

光刻膠

SOI等

LCD/TFT/PDP

液晶盒厚

聚亞酰胺

ITO等

LED

SiO2

光刻膠

ITO等

觸摸屏

ITO

AR Coating

反射/透射率測(cè)試等

汽車

防霧層

Harding Coating

DLC等

醫(yī)學(xué)

聚對(duì)二甲苯涂層

球囊/導(dǎo)管壁厚

藥膜等

太陽(yáng)能

TCO

CIGS

CdS/CdTe

A-Si等

聚合物薄膜

PET

亞克力等

眼鏡