1.在z軸上可機(jī)動(dòng)化的移動(dòng)50mm并且在X和Y軸上可移動(dòng)130mm
2.通用圖像處理
3.用X射線分析改進(jìn)了LaB6成像質(zhì)量
4.支持兩個(gè)空間的范圍

環(huán)境要求：

掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度,、濕度、震動(dòng),、磁場(chǎng)強(qiáng)度,、接地等幾個(gè)因素。一般情況下,，環(huán)境溫度需控制在22～25℃,，相對(duì)濕度以小于70%為宜，保證實(shí)驗(yàn)室清潔整齊,，避免大聲喧嘩及震動(dòng),、磁場(chǎng)的干擾。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機(jī),，特別是在南方地區(qū)一定要保證對(duì)濕度的控制,，避免溫濕度對(duì)電鏡電子部件的影響,。由于場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高，對(duì)震動(dòng)和磁場(chǎng)強(qiáng)度的要求也較高,，所以需盡量避免震動(dòng)和雜散磁場(chǎng)的干擾,。一般在安裝時(shí)，建議將電鏡放置在樓體一層,，遠(yuǎn)離輸電線路,、大功率設(shè)備等，并做防震地基和獨(dú)立地線設(shè)置,。電鏡地線要求必須是獨(dú)立地線,，即接地體到接線端子均獨(dú)立，避免地線連接到公共接地體,。在使用過程中,，若周圍有雜散磁場(chǎng)，在大倍數(shù)觀察時(shí)圖像會(huì)出現(xiàn)縱或橫條紋干擾,?？傊粘Ｊ褂眠^程中要嚴(yán)格控制電鏡的環(huán)境條件,。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例,，環(huán)境條件要求如下：溫度保持在21～25℃，相對(duì)濕度小于65%,，磁場(chǎng)強(qiáng)度小于3×10－7T,，噪聲強(qiáng)度小于65dB，獨(dú)立地線的接地電阻小于0.1Ω,。

檢查真空系統(tǒng)：

電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵,、管道、和真空測(cè)量裝置組成,。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞,，增加燈絲壽命，所以必須高度關(guān)注真空系統(tǒng),，定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值,，或是打開真空監(jiān)控器（Gun　Monitor）實(shí)時(shí)監(jiān)控真空值,。對(duì)于ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡,，需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa,。若真空值低于正常狀態(tài)需進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng),，如檢查各真空系統(tǒng)部件或進(jìn)行烘烤操作，具體方法如下：

（1）觀察真空裝置的啟動(dòng)順序及啟動(dòng)時(shí)間,。ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡真空的啟動(dòng)順序?yàn)闄C(jī)械泵,、潘寧規(guī),、離子泵。一般換試樣抽真空時(shí)間為3min,。如時(shí)間過長(zhǎng),，需檢查真空裝置是否為異常啟動(dòng)情況。

（2）判斷分子泵前級(jí)泵的工作狀態(tài),。定期查看分子泵的功率狀態(tài),，操作方法為：打開分子泵控制器，查看分子泵功率,，若小于10W,，則分子泵前級(jí)泵（機(jī)械干泵）無過多附加阻力，為正常狀態(tài),；否則,，說明前級(jí)泵存在過多負(fù)載。

（3）機(jī)械干泵的維護(hù),。機(jī)械干泵中密封圈為易耗品,，隨著機(jī)械摩擦?xí)r間的增加，密封圈變小,，給分子泵帶來過多負(fù)載,，抽真空時(shí)間變長(zhǎng)。一般情況下,，機(jī)械干泵的維護(hù)需在1～2a（年）內(nèi)進(jìn)行,，即更換密封圈。

（4）若以上問題均可排除,，則可考慮進(jìn)行烘烤操作,，以提高真空度。