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詳細(xì)介紹
二手JSM-7610Fplus場(chǎng)發(fā)射電鏡采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析,。此外，還具備利用GENTLE BEAM TM模式進(jìn)行低加速電壓觀察,、通過R-Filter分選信號(hào)等功能,，滿足各種需求的高擴(kuò)展性。
技術(shù)參數(shù)： 1．分辨率：0.8nm（15kV）／1.0 nm（1kV） 2．加速電壓：0.1 kV—30 kV 3．放大倍數(shù)：25—100萬倍 4．樣品室尺寸：最大200mm直徑樣品
一,、功能特色
配備半浸沒式物鏡,，能將電子束收縮的很細(xì)，實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的高分辨成像,；采用GENTLEBEAM™模式,，通過給樣品加以偏壓使得電子束在到達(dá)樣品前減速的功能來實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的有效觀察和分析；可通過r-filter選擇樣品上產(chǎn)生的二次電子和背散射電子信號(hào)進(jìn)行檢測(cè),。
二,、技術(shù)參數(shù)
1. 電子槍類型：熱場(chǎng)發(fā)射槍
2. 加速電壓：0.1 – 30 kV
3. 二次電子像分辨率：0.8 nm（15kV）、1.0 nm（1kV）
4. 放大倍率： 25–1M倍
5. 能譜：Oxford X-Max50 電制冷能譜儀
三,、應(yīng)用領(lǐng)域
通過掃描電子顯微鏡材料,，可以進(jìn)行材料表面形貌的觀察；材料的斷口形貌的觀察,，了解材料的破壞特征,、材料內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及缺陷；通過X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件,，可掌握材料微區(qū)化學(xué)成分分析,。
二手JSM-7610Fplus場(chǎng)發(fā)射電鏡技術(shù)參數(shù)
二次電子像分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） | |||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） | |||
加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | |||
探針電流 | 數(shù) pA ～ 200 nA | |||
電子槍 | 浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |||
透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡（CL）,、 最佳光闌角控制鏡（ACL）,、 半浸沒式物鏡（OL） | |||
樣品臺(tái) | 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |||
電子檢測(cè)器系列 | 高位檢測(cè)器,、 r‐過濾器 內(nèi)置,、 低位檢測(cè)器 | |||
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散,、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié) | |||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | |||
抽真空系統(tǒng) | 電子槍室／中間室 SIP 離子泵 | |||
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