詳細介紹
二手JEOL場發(fā)射電鏡7001F日本電子熱場發(fā)射掃描電鏡JSM-7001F(Thermal Field Emission SEM)是能夠滿足與高分辨率和易用性同樣的分析應用需求的理想平臺,。JSM-7001F具有大型,、5軸、全對中馬達驅(qū)動自動化樣品臺,還有單動作樣品更換氣鎖,、它的小束口壓直徑,,即使在大電流和低電壓時,也具有適用于EDS,、WDS,、EBSP和CL的理想結構的擴充性。樣品室可處理直徑最大為200mm的樣品,。
計算機接口是新的Windows® XP系統(tǒng),,操作簡單,具有快速簡單地切換操作模式的功能鍵,。最多可同時查看包括混合信號的四幅實時圖像,,單次掃描就可以記錄并馬上存儲全部的四幅圖像。
JSM-7001F掃描電子顯微鏡還支持與EDS,、WDS,、電子束光刻系統(tǒng)和圖像數(shù)據(jù)庫的整體化。標準的樣品臺自動化由計算機控制5軸:X,、Y,、Z、傾斜和對中自轉(zhuǎn),。
低真空操作
JSM-7001FLV場發(fā)射掃描電子顯微鏡具有高分辨率性能,,可以在中至高電壓千伏(kV)和更高的束流下對非導電樣品進行成像。因此無需在樣品上鍍金屬膜或碳膜以供導電,,即可施用EDS,、背散射成像、EBSD等分析技術,。這在以下情況中特別有用: 樣品不能修改時,,尚需后續(xù)測試時,或尚需返回產(chǎn)品線時,。
低真空模式規(guī)格
樣品室壓力:最大50 Pa
分辨率:3.0nm(30kV)(BEI)
槍室壓力:5 x 10-7 Pa或更小
采用的氣體:干燥氮氣
二手JEOL場發(fā)射電鏡7001F儀器參數(shù):
二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV,,減速模式)
1.0nm (15kV)
電子光學:
電子槍: 冷場發(fā)射電子源
加速電壓: 0.5~30kV(0.1KV/步,可變)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物鏡光闌: 4孔,,真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
檢測器: 二次電子檢測器 (高位/低位)
背散射電子檢測器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測器(可選)
法拉第杯(可選)
陰極熒光檢測器(可選)
樣品臺: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驅(qū)動:手動(可選3軸驅(qū)動)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驅(qū)動:PC機控制5軸驅(qū)動
圖像顯示:
操作/顯示: PC/AT 兼容,
操作系統(tǒng): WindowsTM 2000
18.1" 平面顯示器
掃描模式: 標準,,Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
畫面儲存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
圖像編輯: 內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
圖像文件格式: BMP, TIFF, JPEG
掃描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄
成像過程: 自動調(diào)節(jié)亮度和對比度
光柵旋轉(zhuǎn),自動聚焦,自動像散校正,,
平均,,幀積分,偽彩色顯示
自動數(shù)據(jù)記錄: 膠卷號,,加速電壓,,微米標尺,放大
倍率,,日期,,時間,工作距離
電子圖像移動: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空系統(tǒng): *氣閥自動調(diào)節(jié)
離子泵 3 臺
渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺
機械泵 1 臺