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             德國(guó)耶拿：ICP法測(cè)試氮化鋁中雜質(zhì)Si

德國(guó)耶拿：ICP法測(cè)試氮化鋁中雜質(zhì)Si本文用HR-PQ9000,，ICP法測(cè)定了＞99.95%氮化鋁（AlN）中的雜質(zhì)成分,。數(shù)據(jù)表明，雖是堿溶,，試液含鹽量＞20g/L,，基體干擾較大，標(biāo)準(zhǔn)曲線濃度低達(dá)0.010～0.50 μg/mL,，但有基體匹配的5點(diǎn)校正的線性擬合系數(shù)R=0.9995～0.99999,，RSD＜2.9%,，消除了基體干擾和影響；德國(guó)耶拿：ICP法測(cè)試氮化鋁中雜質(zhì)Si同一元素不同譜線的測(cè)定結(jié)果比對(duì)得較好,；兩個(gè)平行樣也平行得較好,，充分顯示了PQ9000的高分辨率、高靈敏度,、高穩(wěn)定性和材料純度分析的*能力,。