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電感耦合等離子體質(zhì)譜儀,，它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器,。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動,，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離,，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用,，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子,。質(zhì)譜是一個質(zhì)量篩選和分析器，通過選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度,，進而分析計算出某種元素的強度,。是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素,，被廣泛應(yīng)用于半導體,、地質(zhì)、環(huán)境以及食品檢測等行業(yè)中,。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀組成及工作條件

▲由ICP焰炬,，接口裝置和質(zhì)譜儀三部分組成,；若使其具有好的工作狀態(tài),，必須設(shè)置各部分的工作條件。

▲　ICP工作條件：主要包括ICP功率,，載氣,、輔助氣和冷卻氣流量,。樣品提升量等。ICP功率一般為1KW左右,，冷卻氣流量為15L/min,，輔助氣流量和載氣流量約為1L/min，調(diào)節(jié)載氣流量會影響測量靈敏度,。樣品提升量為1ml/min,。

▲　接口裝置工作條件：ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進入質(zhì)譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度,，也即采樣錐孔與焰炬的距離,，要調(diào)整兩個錐孔的距離和對中，同時要調(diào)整透鏡電壓,，使離子有很好的聚焦,。