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高通量計量和檢測的污染控制智慧之道

閱讀:251      發(fā)布時間:2024-4-10
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在半導(dǎo)體,、平板顯示器 (FPD) 和有機(jī)發(fā)光二極管 (OLED) 制造業(yè)中,,設(shè)計支持高通量檢測(即,每次所需時間可處理的檢測數(shù)量)的計量儀器是我們面臨的一項共同挑戰(zhàn),。
作為 OEM 光學(xué)器件和組件的供應(yīng)商,,Evident為儀器設(shè)計師提供高質(zhì)量的顯微鏡裝置,而這些儀器設(shè)計師會為檢測,、生產(chǎn)和研究領(lǐng)域開發(fā)光學(xué)設(shè)備,。對于制造業(yè)中的質(zhì)量檢測,由于這些裝置設(shè)計合理周到,,還有助于提高產(chǎn)量(即所有產(chǎn)品中無缺陷產(chǎn)品的百分比),。
例如,集成到高通量檢測設(shè)備中的顯微鏡裝置通常需要直觀的遠(yuǎn)程控制,,以便所有技能水平的用戶都可以輕松準(zhǔn)確地執(zhí)行檢測,。通過簡單的控制,您可以調(diào)整焦距、樣品觀察位置,、觀察方法和放大倍率,,以快速獲得用于檢測的圖像。我們提供各種能夠?qū)崿F(xiàn)電動控制的裝置,,如電動Z軸驅(qū)動顯微鏡裝置,、電動照明器、電動分析儀,、控制箱和手動開關(guān),。
我們還推出了一款帶有真空功能 (U-D5BDREMC-VA) 的電動物鏡轉(zhuǎn)盤,其可以改善清潔度,,同時提高速度和耐用性,。對于并不熟悉該裝置的人,物鏡轉(zhuǎn)盤(也稱作物鏡轉(zhuǎn)塔)可以容納不同放大率的物鏡,。通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤,,用戶可以根據(jù)需要在不同的放大倍數(shù)下查看樣品。
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電動物鏡轉(zhuǎn)盤

半導(dǎo)體,、FPD 和 OLED 行業(yè)的污染控制

清潔度是半導(dǎo)體,、FPD 和 OLED 制造行業(yè)的檢查人員很關(guān)心的問題,這一點(diǎn)關(guān)系到是否可以生產(chǎn)出功能正常的產(chǎn)品,。因此,,應(yīng)將檢測設(shè)備用于受控環(huán)境,如潔凈室,。不允許灰塵從物鏡轉(zhuǎn)盤落到樣品上,,如半導(dǎo)體晶圓。即使是微小的灰塵也會污染晶圓,,破壞其功能,,進(jìn)而影響產(chǎn)品產(chǎn)量。

我們帶真空功能的電動物鏡轉(zhuǎn)盤 (U-D5BDREMC-VA) 使用負(fù)壓吸力,,可減少物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時落下的細(xì)粒數(shù)量,,并捕獲潤滑系統(tǒng)所用潤滑脂產(chǎn)生的任何氣體或灰塵。這種真空功能使我們的物鏡轉(zhuǎn)盤成為受控潔凈室環(huán)境的理想選擇,。物鏡轉(zhuǎn)盤可用作半導(dǎo)體和FPD檢測設(shè)備的內(nèi)置顯微鏡模塊,。


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用于污染控制的帶真空功能的物鏡轉(zhuǎn)盤

用于半導(dǎo)體晶圓檢測及其他用途的各種物鏡轉(zhuǎn)盤

我們提供各種物鏡轉(zhuǎn)盤,這些物鏡轉(zhuǎn)盤可集成到檢測,、生產(chǎn)和研究領(lǐng)域的系統(tǒng)中,。我們的選擇包含手動和電動選項。

  • 手動物鏡轉(zhuǎn)盤:該產(chǎn)品系列可以支持諸如明場,、暗場和微分干涉對比 (DIC) 等觀測方法,,可以容納四至七個物鏡,,滿足 ESD 規(guī)范等。

  • 帶編碼功能的物鏡轉(zhuǎn)盤:這種類型的手動物鏡轉(zhuǎn)盤可以檢測轉(zhuǎn)盤的物鏡安裝孔位置,。您可以使用軟件將物鏡的放大倍率信息與其在轉(zhuǎn)盤上的位置相匹配,,使您能夠更快地將放大倍率信息添加到捕獲的圖像中,同時降低手動數(shù)據(jù)輸入錯誤的風(fēng)險,。

  • 電動物鏡轉(zhuǎn)盤:這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤可以通過電動方式移動五個或六個物鏡,。帶有真空功能的電動物鏡轉(zhuǎn)盤同樣已經(jīng)推出。

  • 帶對中功能的物鏡轉(zhuǎn)盤:這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤可讓您通過手動或電動方式將物鏡的光軸對中,。這樣可以改變物鏡轉(zhuǎn)盤的孔位置,,以便針對每個物鏡的細(xì)微移動進(jìn)行調(diào)整。最終將所有安裝的物鏡對準(zhǔn),。經(jīng)過調(diào)整,您會發(fā)現(xiàn)更換物鏡前后,,中心位置是相同的,。

  • 物鏡支架轉(zhuǎn)接器:這款轉(zhuǎn)接器 (STM7-MMOBAD) 可讓您只使用一個物鏡。如果您的應(yīng)用不需要多個物鏡,,那這是一種經(jīng)濟(jì)實惠的選擇,。請注意,這款轉(zhuǎn)接器(適配器)僅配備 RMS 螺絲 W26,,并且沒有用于暗場照明的光路,。

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您只需將一個物鏡連接到支持多個物鏡的系統(tǒng),物鏡適配器 (STM7-MMOBAD) 實現(xiàn)了靈活性,。左側(cè):使用物鏡適配器連接了一個物鏡,。中間:連接轉(zhuǎn)盤前。右側(cè):使用物鏡轉(zhuǎn)盤連接了多個物鏡,。


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