氬在空氣中含量僅為0.93%。ICP光源所用的氬氣純度需要99.99%以上,。而目前商品ICP光譜儀均用氬氣作為工作氣體，未采價(jià)廉的分子氣體如氮?dú)夂涂諝獾取Ｆ湓蛴袃蓚€(gè)：一是氬ICP光源有良好的分析性能,，分析靈敏度高且光譜背景較低；二是用氬作等離子體易于形成穩(wěn)定ICP,，所需的高頻功率也較低,。 在ICP光譜技術(shù)發(fā)展過程中,，曾多次探討用分子氣體（氮?dú)猓諝?，氧氣,，?氮混合氣）代替氬氣作工作氣體。分子氣體雖然在較高功率下也能形成等離子體焰炬,，所形成的等離子體激發(fā)溫度也較氬等離子體低,。
          首先看單原子氣體和分子氣體的電離所需能量與氣體溫度的關(guān)系。把氣體加熱到同樣溫度,，分子氣體氮?dú)夂蜌錃馑牡臒崮苓h(yuǎn)高于氬氣和氦氣,。可以看出分子氣體形成離子的過程分兩步,，第1步分子狀態(tài)N2受熱理解為原子,，然后第二步才能進(jìn)行電離反應(yīng)。N2分子離解所需能量為873KJ/mol,，電離過程所需的能量為1402kj/mol,。而惰性氣體氬以原子態(tài)存在，只給予電離能即可,。Ar的電離能為1506KJ/mol,所需的能量低于分子氣體氮?dú)獾碾x解能和電離能之和,。
          工作氣體的電阻率，熱熔及熱導(dǎo)率等物理性質(zhì)是影響形成穩(wěn)定等離子體的另一個(gè)重要原因,。氬的電阻率,，熱熔和熱導(dǎo)率都是低的。低的熱導(dǎo)率可降低由于熱導(dǎo)散熱而造成的能量損失,；提高等離子體的熱效率,，熱導(dǎo)率的高低對(duì)于形成穩(wěn)定等離子體極為重要。據(jù)試驗(yàn)表明,，當(dāng)外管氣流量為5L/min氬氣時(shí),，石英矩管熱傳導(dǎo)分別損耗總能量的60%，43%及20%,。由于前述的原因,，氬氣易形成穩(wěn)定的ICP，如高頻電源頻率為4MHz時(shí),，用氬氣為工作氣體,，維持ICP的低功率為1.5kW；而用氮?dú)鈺r(shí)為28kw,用氫氣為250kw,。當(dāng)然,，提高電源頻率可以相應(yīng)降低維持ICP所需的功率。用分子氣體形成的等離子體,，其溫度比Ar-ICP和He-ICP要低,。