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如何對(duì)半導(dǎo)體晶圓上分布的壓電陶瓷進(jìn)行極化

JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設(shè)備

 關(guān)鍵詞： 晶圓,，高壓陶瓷，晶圓陶瓷

晶圓上布置的壓電陶瓷片

半導(dǎo)體零部件是指在材料,、結(jié)構(gòu),、工藝、品質(zhì)和精度,、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達(dá)到半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求的零部件,，如O型密封圈（O-Ring）、傳送模塊（EFEM）,、射頻電源（RFGen）,、靜電吸盤(pán)（ESC）、硅（Si）環(huán)等結(jié)構(gòu)件,、真空泵（Pump）,、氣體流量計(jì)（MFC）、精密軸承,、氣體噴淋頭（ShowerHead）等,。

JYPZT-JHX01型晶圓陶瓷高壓極化設(shè)備是一款能夠?qū)A分布上的小微陶瓷進(jìn)行極化，是目前研究晶圓及半導(dǎo)體器件陶瓷先進(jìn)材料的重要設(shè)備,。

技術(shù)特點(diǎn)：

1,、全封閉安全結(jié)構(gòu)，超高漏流直接自動(dòng)斷電

2,、夾具設(shè)計(jì)方便安裝樣品

3,、控溫升溫穩(wěn)定

4、極化可以配合ZJ-3型精密D33測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試

二,、主要技術(shù)條件：

1,、極化電壓： (0～10)Kv

2、 總電流：  DC:  20mA

4,、測(cè)試時(shí)間：1～99min   ±5%  （連續(xù)可調(diào)）

5,、測(cè)試溫度：常溫～180℃  ±(5%+2個(gè)字)（連續(xù)可調(diào)）

6、兩電極尺寸：210′320 mm

7,、外型尺寸：體積：1450(h)′960(w)′700(d) mm

8,、工作條件：環(huán)境溫度0～40°C。

9,、相對(duì)濕度：不大于75%,。

10、電源：AC: (220± ±10%)V    (50±5%) Hz

11,、配套設(shè)備裝置：能夠配合ZJ-3和ZJ-6壓電測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量

12,、配套設(shè)備裝置：可以配置10MM,，20MM，30MM,，40MM壓片夾具