相較于傳統(tǒng)的被動(dòng)隔振方案，主動(dòng)隔振平臺(tái)具有很大的優(yōu)勢(shì)。它不僅能夠有效隔離來(lái)自地面或周邊設(shè)備的振動(dòng),，還能應(yīng)對(duì)高頻,、低幅等復(fù)雜振動(dòng)環(huán)境，確保精密設(shè)備在*端條件下也能保持平穩(wěn)運(yùn)行,。此外,，該產(chǎn)品還具備智能調(diào)節(jié)功能，可根據(jù)設(shè)備的工作狀態(tài)和外部環(huán)境的變化,，自動(dòng)調(diào)整隔振參數(shù),，實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的振動(dòng)控制效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、精密機(jī)械加工,、光學(xué)儀器檢測(cè)、生物醫(yī)療實(shí)驗(yàn)等高精密要求的場(chǎng)景中,，為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供堅(jiān)實(shí)保障,。
使用主動(dòng)隔振平臺(tái)的意義有：
1、從<1Hz開(kāi)始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng),，氣動(dòng)平臺(tái)在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振
2,、提高質(zhì)量、生產(chǎn)量
3,、更加細(xì)小特色的成像能力
4,、前沿研究
5、比氣動(dòng)平臺(tái)更穩(wěn)定
6,、滿(mǎn)足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的解決方案
7,、使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低
特點(diǎn)：
1、寬頻隔振：可在1.0Hz~200Hz范圍內(nèi)有效工作,，覆蓋低頻至高頻振動(dòng),。
2、高精度控制：通過(guò)閉環(huán)反饋系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)響應(yīng),，振動(dòng)傳遞率顯著降低,。
3、多自由度控制：可消除多個(gè)自由度方向的振動(dòng),，適用于復(fù)雜環(huán)境,。
4、穩(wěn)定性與靈活性：具備自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能,，適應(yīng)不同實(shí)驗(yàn)需求,。
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