納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積,。
納米壓痕儀能通過實(shí)時(shí)記錄力和對(duì)應(yīng)位移深度的曲線來測量納米或微米級(jí)薄膜材料力學(xué)性能,。儀器不僅提供納米壓痕功能，同時(shí)也提供納米劃痕功能和臺(tái)階儀功能,，即不僅可以滿足薄膜硬度,、彈性模量等性能的測量，還可實(shí)現(xiàn)薄膜與基體之間的結(jié)合力和定量表面形貌的測量,。
納米壓痕儀具有哪些優(yōu)勢特點(diǎn),？
（1）試樣制備簡單。納米壓痕儀測試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求,，對(duì)被測試樣的形狀尺寸并無特殊要求,，壓入深度在微納米尺度，是一種無損測試方法,。
（2）測量分辨力高,。
（3）操作方便。利用載荷-深度曲線,，可直接換算得到接觸面積,，無需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測定。
（4）測試內(nèi)容豐富,。利用納米壓痕儀測試不僅可以獲得硬度,、彈性模量,，還可以獲得塑性參數(shù),、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等,。
（5）應(yīng)用范圍廣,。可廣泛應(yīng)用于金屬,、陶瓷,、薄膜材料、復(fù)合材料,、生物材料,、特殊功能材料、微機(jī)電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)測試,。
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