可定制 納米二氧化硅-納米氮化硅復(fù)合材料
摘要：一種納米二氧化硅-納米氮化硅復(fù)合材料,包括多個(gè)由納米二氧化硅包覆在納米氮化硅表面形成的微粒,其中,所述納米氮化硅與納米二氧化硅的質(zhì)量比為1:1~10:1.納米氮化硅與納米二氧化硅按質(zhì)量比1:1~10:1進(jìn)行復(fù)合,使得該復(fù)合材料的,介電常數(shù)較低,能夠應(yīng)用于大規(guī)模集成電路電子封裝等領(lǐng)域.還提供一種納米二氧化硅-納米氮化硅復(fù)合材料的制備方法.
可定制 納米二氧化硅-納米氮化硅復(fù)合材料
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| CVD法氮化硅薄膜 |
| 氮化硅(SiNx)薄膜 |
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| 氮化硅結(jié)合碳化硅(Si3N4-SiC)材料 |
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