含硅光刻膠
為了避免光刻膠線條的倒塌,，線寬越小的光刻工藝,，要求光刻膠的厚度越薄,。
在20nm節(jié)點,，光刻膠的厚度已經減少到了100nm左右。但是薄光刻膠不能的阻擋等離子體對襯底的刻蝕 ,。為此,，了含Si的光刻膠，這種含Si光刻膠被旋涂在一層較厚的聚合物材料（常被稱作Underlayer）,，其對光是不敏感的,。曝光顯影后，利用氧等離子體刻蝕,，把光刻膠上的圖形轉移到Underlayer上,，在氧等離子體刻蝕條件下，含Si的光刻膠刻蝕速率遠小于Underlayer,，具有較高的刻蝕選擇性 ,。
含有Si的光刻膠是使用分子結構中有Si的有機材料合成的，例如硅氧烷,，硅烷,，含Si的丙烯酸樹脂等 。
光刻膠又稱光致抗蝕劑,，是一種對光敏感的混合液體,。其組成部分包括：光引發(fā)劑（包括光增感劑、光致產酸劑）,、光刻膠樹脂,、單體、溶劑和其他助劑,。光刻膠可以通過光化學反應,，經曝光、顯影等光刻工序將所需要的微細圖形從光罩（掩模版）轉移到待加工基片上,。依據使用場景,，這里的待加工基片可以是集成電路材料，顯示面板材料或者印刷電路板,。
光刻膠按應用領域分類,，可分為 PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠,、半導體光刻膠及其他光刻膠,。
市場上不同種類光刻膠的市場結構較為均衡,，具體占比可以如下圖所示。
目前,，本土光刻膠以PCB用光刻膠為主,，平板顯示、半導體用光刻膠供應量占比,。本土光刻膠企業(yè)生產結構可以如圖所示,。
齊岳生物供應產品：
| 產品 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（um) | 適用范圍 |
| 厚膠 Thick Resist | SU-8 GM10xx系列 | g/h/i-Line | 負性 | 0.1um | 0.1-200 | 具有較大的高寬比，透明度高,，垂直度。 |
| SU-8 Microchem | g/h/i-Line | 負性 | 0.5um | 0.5-650 | 具有較大的高寬比,，透明度高,，垂直度。 | |
| g/h/i-Line | 正性 | 1um | 1—30 | 可用于選擇性電鍍電鍍,，深硅刻蝕等工藝,。 | ||
| NR26-25000P | g/h/i-Line | 負性 | 20-130 | 厚度大，相對容易去膠,。 | ||
| 電子束光刻膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（um) | 適用范圍 |
| SU-8 GM1010 | 電子束 | 負性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可用于做高寬比較大的納米結構,。 | |
| HSQ | 電子束 | 負性 | 6nm | 30nm~180nm | 分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕,。 | |
| XR-1541-002/004/006 | ||||||
| HSQ Fox-15/16 | 電子束 | 負性 | 100nm | 350nm~810nm | 分辨率較好的光刻膠,，抗刻蝕。 | |
| PMMA(國產) | 電子束 | 正性 | \ | \ | 高分辨率,，適用于電子束光刻工藝,，較常用的電子束光刻正膠。 | |
| PMMA（） | 電子束 | 正性 | \ | \ | MicroChem,，分子量,，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠,。 | |
| 薄膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（um) | 適用范圍 |
| S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 較常用的薄光刻膠,，分辨率高，穩(wěn)定,。 | |
| SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 高分辨率（0.35um）光刻膠,，穩(wěn)定。 | |
| BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 國產0.35um光刻膠,，已經在量產單位規(guī)模使用,。 | |
| NRD6015 | 248nm | 負性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 國產深紫外光刻膠，已經在量產單位規(guī)模使用,。 | |
| Lift off光刻膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（μm) | 適用范圍 |
| KXN5735-LO | g/h/i-Line | 負性 | 4μm | 2.2-5.2 | 負性光刻膠;倒角65-80°,，使用普通正膠顯影液顯影,。 | |
| LOL2000/3000 | g/h/i-Line | / | NA | 130nm-300nm | 非感光性樹脂，可以被顯影液溶解,，作為lift off雙層膠工藝中底層膠使用,。 | |
| ROL-7133 | g/h/i-Line | / | 4um | 2.8-4 | 負性光刻膠，倒角75~80°,，使用普通正膠顯影液,。 | |
| 光刻膠配套試劑 | 品名 | 主要成分 | 包裝 | 應用 | / | / |
| 正膠顯影液 | TMAH 2.38% | 4LR/PC | 正膠顯影液 | / | / | |
| 正膠稀釋劑 | PGMEA | 4LR/PC | 稀釋劑 | / | / | |
| SU8 顯影液 | PGMEA | 4L/PC | 顯影SU8光刻膠 | / | / | |
| RD-HMDS | HMDS | 500ml/PC | 增粘劑 | / | / | |
| OMNICOAT | 見MSDS | 500ml/PC | SU-8增粘劑 | / | / |
| 1-丙烯酸金剛烷酯 | 121601-93-2 |
| 1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 | 16887-36-8 |
| 丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 | 7398-56-3 |
| 4-乙酰氧基苯乙烯 | 2628-16-2 |
| 1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 | 216581-76-9 |
| 2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 | 249562-06-9 |
| 2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 | 303186-14-3 |
| 1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 | 81665-82-9 |
| 2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環(huán)戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 | 254900-07-7 |
| 甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ | 34759-34-7 |
| 2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 | 297156-50-4 |
| 2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 | 251564-67-7 |
| gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯 | 130224-95-2 |
| N-異丙基甲基丙烯酰胺 | 13749-61-6 |
| (9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 | 583036-99-1 |
| (5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 | 156938-09-9 |
| 1-乙基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 | 266308-58-1 |
| 1-異丙基-1-環(huán)己醇甲基丙烯酸酯 | 811440-77-4 |
| 2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 | 31480-93-0 |
| n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate | 170216-64-5 |
| 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 | 4224-69-5 |
| 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 | 31645-35-9 |
| 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ | 347886-81-1 |
| 2-乙烯基萘 | 827-54-3 |
| 2-環(huán)己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 | 186585-56-8 |
| 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 | 195000-66-9 |
| 丙烯酸甲基環(huán)戊酯 | 178889-49-1 |
| 丙烯酸1-乙基環(huán)戊酯 | 326925-69-3 |
| 2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 | 328249-37-2 |
| 4-叔丁氧基苯乙烯 | 95418-58-9 |
| 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 | 69260-42-0 |
| 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 | 13695-31-3 |
| 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene | 16215-47-7 |
| acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol | 57142-64-0 |
| 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 | 157057-20-0 |
| 1-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 | 76392-14-8 |
| 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 | 1176273-16-7 |
| 2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) | 131787-39-8 |
| 1-甲基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 | 178889-45-7 |
| 1-乙基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 | 274248-09-8 |
| 4-異丙基苯酚 | 4286-23-1 |
| (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate | 13818-44-5 |
| 乙酸-2-乙烯基苯基酯 | 63600-35-1 |
| 2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 | 325991-26-2 |
| 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate | 51920-52-6 |
| 甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 | 15895-80-4 |
| oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate | 52858-59-0 |
| 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one | 1267624-16-7 |
| 3-叔丁氧基苯乙烯 | 105612-79-1 |
| 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 | 13732-00-8 |
| 2,3-二羥基丙烯酸丙酯 | 10095-20-2 |
| 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環(huán)氧乙烷 | 2653-39-6 |
| 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 | 155222-48-3 |
| 2-(2,2-二氟乙烯基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷 | 123455-94-7 |
| 二苯基碘酰氯 | 1483-72-3 |
| 雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸的鹽 | 84563-54-2 |
| 全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 | 144317-44-2 |
| 雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 | 5421-53-4 |
| TBPDPS-PFBS | 258872-05-8 |
| 1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽 | 194999-85-4 |
| (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 | 111281-12-0 |
| N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 | 85342-62-7 |
上述產品齊岳生物均可供應1
WYF 01.25
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