光刻膠的光聚合反應(yīng)/水解反應(yīng)示意圖

時(shí)間：2021-1-22閱讀：4090

光聚合反應(yīng)示意圖

光分解型光刻膠,，采用含有重氮醌類化合物(DQN)材料作為感光劑，其經(jīng)光照后,發(fā)生光分解反應(yīng),，可以制成正性光刻膠；光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,，在光的作用下,，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用,，可以制成負(fù)性光刻膠,。

光分解反應(yīng)示意圖

在半導(dǎo)體集成電路光刻開始使用深紫外（DUV）光源以后，化學(xué)放大（CAR）逐漸成為行業(yè)應(yīng)用的主流,。在化學(xué)放大光刻膠中,，樹脂是具有化學(xué)基團(tuán)保護(hù)因而難以溶解的聚乙烯?；瘜W(xué)放大光刻膠使用光致酸劑（PAG）作為光引發(fā)劑,。

光交聯(lián)反應(yīng)示意圖

當(dāng)光刻膠曝光后，曝光區(qū)域的光致酸劑（PAG）將會產(chǎn)生一種酸,。這種酸在后熱烘培工序期間作為催化劑,，將會移除樹脂的保護(hù)基團(tuán)從而使得樹脂變得易于溶解?；瘜W(xué)放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍,，對深紫外光源具有的光學(xué)敏感性，同時(shí)具有高對比度,，對高分辨率等優(yōu)點(diǎn),。

化學(xué)放大光反應(yīng)示意圖

按照曝光波長分類；光刻膠可分為紫外光刻膠（300~450nm）,、深紫外光刻膠（160~280nm）,、極紫外光刻膠（EUV,，13.5nm）、電子束光刻膠,、離子束光刻膠,、X射線光刻膠等。不同曝光波長的光刻膠,，其適用的光刻分辨率不同,。通常來說，在使用工藝方法一致的情況下,，波長越短,，加工分辨率越佳。

產(chǎn)品供應(yīng)：

產(chǎn)品	型號	光源	類型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
厚膠 Thick Resist	SU-8 GM10xx系列	g/h/i-Line	負(fù)性	0.1um	0.1-200	具有較大的高寬比,，透明度高,，垂直度。
	SU-8 Microchem	g/h/i-Line	負(fù)性	0.5um	0.5-650	具有較大的高寬比,，透明度高,，垂直度。
	SPR220	g/h/i-Line	正性	1um	1—30	可用于選擇性電鍍電鍍,，深硅刻蝕等工藝,。
	NR26-25000P	g/h/i-Line	負(fù)性		20-130	厚度大，相對容易去膠,。
電子束光刻膠	型號	光源	類型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
	SU-8 GM1010	電子束	負(fù)性	100nm	0.1-0.2	可用于做高寬比較大的納米結(jié)構(gòu),。
	HSQ	電子束	負(fù)性	6nm	30nm~180nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕,。
	XR-1541-002/004/006	電子束	負(fù)性	6nm	30nm~180nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕,。
	HSQ Fox-15/16	電子束	負(fù)性	100nm	350nm~810nm	分辨率較好的光刻膠,，抗刻蝕。
	PMMA(國產(chǎn))	電子束	正性	\	\	高分辨率,，適用于電子束光刻工藝,，較常用的電子束光刻正膠。
	PMMA（）	電子束	正性	\	\	MicroChem,，分子量,，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠,。
薄膠	型號	光源	類型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
	S18xx系列	g-Line	正性	0.5um	0.4-3.5	較常用的薄光刻膠,，分辨率高，穩(wěn)定,。
	SPR955系列	i-Line	正性	0.35um	0.7-1.6	高分辨率（0.35um）光刻膠,，穩(wěn)定。
	BCI-3511	i-Line	正性	0.35um	0.5-2	國產(chǎn)0.35um光刻膠,，已經(jīng)在量產(chǎn)單位規(guī)模使用,。
	NRD6015	248nm	負(fù)性	0.2um	0.7-1.3	國產(chǎn)深紫外光刻膠,，已經(jīng)在量產(chǎn)單位規(guī)模使用。
Lift off光刻膠	型號	光源	類型	分辨率	厚度（μm)	適用范圍
	KXN5735-LO	g/h/i-Line	負(fù)性	4μm	2.2-5.2	負(fù)性光刻膠;倒角65-80°,，使用普通正膠顯影液顯影,。
	LOL2000/3000	g/h/i-Line	/	NA	130nm-300nm	非感光性樹脂，可以被顯影液溶解,，作為lift off雙層膠工藝中底層膠使用,。
	ROL-7133	g/h/i-Line	/	4um	2.8-4	負(fù)性光刻膠，倒角75~80°,，使用普通正膠顯影液,。
光刻膠配套試劑	品名	主要成分	包裝	應(yīng)用	/	/
	正膠顯影液	TMAH 2.38%	4LR/PC	正膠顯影液	/	/
	正膠稀釋劑	PGMEA	4LR/PC	稀釋劑	/	/
	SU8 顯影液	PGMEA	4L/PC	顯影SU8光刻膠	/	/
	RD-HMDS	HMDS	500ml/PC	增粘劑	/	/
	OMNICOAT	見MSDS	500ml/PC	SU-8增粘劑	/	/

上述產(chǎn)品齊岳生物均可供應(yīng)，用于科研,！

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西安齊岳生物科技有限公司

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光刻膠的光聚合反應(yīng)/水解反應(yīng)示意圖

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