日本SMC常閉型高真空電磁閥

常閉型高真空電磁閥 XSA
●追加內螺紋型（Rc, NPT） [New]
●低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
●漏電量：內部1.3×10-9Pa·m3/s，外部1.3×10-11Pa·m3/s
●備有2種接頭
●消耗電力：大削減25%
●質量：大削減18%　0.5kg→0.41kg

日本SMC常閉型高真空電磁閥

1.開關氣路,，當閥1和閥4關閉,，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,，氣流流經預真空抽氣管路,；當閥2關閉，閥4打開時,，機械泵可單獨對擴散泵抽真空,；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作,，對容器進行抽空,，此時氣流流經擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線,。

2.控制氣流大小,，調節(jié)真空度在圖1中，調節(jié)閥1的閥蓋開啟角度,，即可調節(jié)流經管路的氣流量大?。魂P閉閥2和閥4,，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣,；通過放氣閥5可以調節(jié)容器內的真空度。

3.定量充氣,，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體,；當它轉向左邊和真空容器連通時,，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用,。

真空閥門的種類繁多,，通常按閥門的職能,、結構型式,、驅動方式,、材料和用途進行分類。

電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機械真空泵返油的真空閥,，安裝于機械真空泵的進氣口,，并與泵同步開啟和關閉。一般不能用到其它地方,，也就是說不能用于真空系統(tǒng)中作放氣之用,。選用尼威電磁真空壓差閥的優(yōu)點是耗電量很小，節(jié)省能源;DN≤50的閥體材質為鋁合金,，重量輕,，體積小，閥板關閉速度快,。

擋板閥用在真空管道中角通和三通的地方,。驅動方式為手、氣,、電磁,、電動由用戶決定。其中GDC-J型電磁高真空擋板閥為金屬波紋管密封,，其應用范圍較廣,也可當充氣閥用;安裝位置可任意,可反頂一個大氣壓,并有反饋信號輸出,。

插板閥用在真空度要求高或管道尺寸要求高的場合。全通導,、閥門漏率為10-7Pa.L/S,，雙向密封。驅動方式手,、氣,、電動由用戶決定。氣動和電動均帶信號反饋裝置,。

隔膜閥與球閥為直通式,，并能用在正壓和真空并存的場合。驅動方式手,、氣,、電動由用戶決定。

蝶閥為直通形式,，手,、氣、電三種驅動方式由用戶決定,。手動蝶閥開啟角度任意可調;智能型的氣動和電動蝶閥其開啟角度也任意可調,。