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四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線監(jiān)測儀在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用介紹
閱讀：5255 發(fā)布時間：2017-3-31四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線監(jiān)測儀在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用介紹
長沙楚一測控專業(yè)開發(fā)及生產(chǎn)四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線監(jiān)測儀（檢測儀,、測量儀）、四甲基氫氧化銨（TMAH）在線濃度計,、TMAH在線折光儀（折射儀）,、四甲基氫氧化銨濃度在線測量儀、TMAH折射儀濃度計,；顯影液在線濃度檢測儀,顯影液在線測定 ,在線TMAH濃度儀,。
四甲基氫氧化銨（TMAH），在電子行業(yè)中廣泛用作FT-LCD,、IC正膠顯影劑,、硅晶蝕刻劑、CMP過程超純清洗劑,，同時也是液晶顯示器中的顯像液,。隨著電子工業(yè)日新月異的發(fā)展,，PCB技術(shù)也在飛速發(fā)展,。作為PCB圖形成像之關(guān)鍵工序——顯影，直接影響著線路品質(zhì)及阻焊的品質(zhì),，顯影的品質(zhì)要求不能有顯影不凈,，不能有顯影過度,，不能有掉線和綠油脫落等，顯影露銅點50% ~ 60%（一半顯影段）,。因此顯影液濃度的控制對顯影工序起著非常重要的作用,。
例如：根據(jù)工藝要求需要將現(xiàn)存的濃度為20%的TMAH潔凈液稀釋到目標(biāo)濃度2.48%，需要在線儀表提供準(zhǔn)確TMAH濃度測量,，已達(dá)到配置目標(biāo)濃度顯影液的目的,。目前國內(nèi)常用采樣后分析系統(tǒng)測量TMAH的濃度，測量過程大概需要20分鐘時間,，該方式不具備實時性,，過程管道的濃度變化無法及時監(jiān)測到，導(dǎo)致調(diào)控滯后,。為了提高生產(chǎn)量,，顯影液的配對效率需要提高，縮短配比的時間,，需要在線實時對TMAH的濃度進(jìn)行監(jiān)控,，完善工藝控制要求。采用折光原理的TMAH在線濃度儀能夠滿足在線檢測要求,，且測量精度高,。
四甲基氫氧化銨（TMAH）在線濃度計利用折光的原理測得溶液的折光率，折光率與TMAH溶液的濃度有*的對應(yīng)關(guān)系,。通過換算從而得到溶液的實際濃度,。這種測量原理穩(wěn)定性好，精度高,，它適用于管道安裝或容器壁處的安裝,，以及其它等多種安裝方式。
在四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度計的優(yōu)點：
1.在線連續(xù)檢測,，不再需要人工頻繁取樣實驗室檢測,，節(jié)省大量人力、財力
2.消除人工檢測誤差,，保證產(chǎn)品一致性
3.連續(xù)測量,，迅速反饋，提升產(chǎn)品質(zhì)量
4.提高自動化程度,，相關(guān)的濃度數(shù)據(jù)可通過組網(wǎng)的形式與中控室連接
5.不受溶液氣泡,、壓力影響（與密度法相比）
CY-TMAH在線濃度傳感器
| 產(chǎn)品型號 | CY-TMAH-A | CY-TMAH-D |
| 測量范圍 | 0.0 至30.0% | |
| 分 辨 率 | ( Brix )：0.1% 溫度：0.1°C | |
| 測量精度 | ±0.1% 溫度 ±0.5°C | |
| 測量溫度 | 5至 100°C (自動溫度補(bǔ)償) | |
| 環(huán)境溫度 | 5至 40°C | |
| 輸入電源 | DC 24V | |
| 關(guān)鍵材質(zhì) | 傳感器殼體：SUS316L | |
| 信號輸出 | DC4 至 20mA | RS-232 |
| 防護(hù)等級 | IP67 防塵、防濺水 | |
| zui高壓力 | < 1MPa | |
| 產(chǎn)品尺寸 | ￠99X175 | |
| 選 購 件 | *清洗組件CY-CL77 *CY-TMAH-D建議選配CY-MC濃度控制儀使用 | |
