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真空度測試儀的測試原理

2018-11-19 閱讀(2531)

真空度測試儀的測試原理

  利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同,,來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣,。

  將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距,動觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負離子電流,。由于漏電電流非常弱,,易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此,,必須通過勵磁線圈繞于滅弧室外側,,向線圈通以大電流,從而在滅弧室內產生與高壓同步的脈沖磁場來加速離子流,,按比例放大采樣率,。這樣,在脈沖磁場的作用下,,滅弧室中的電子作螺旋運動,,并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系,。對于直徑不同的真空管,,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,。通過實驗可以標定出各種管型的真空度與離子電流的對應關系曲線。當測知離子電流后,調用內部相對應的比例參樣,,加以運算,,得出準確真實真空度值。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲線獲得該管型的真空度,,這一過程由計算機自動完成,。



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