目錄:廈門地坤科技有限公司>>機械機電設(shè)備>> ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-145-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-220-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-270-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-550-15立式化學(xué)氣相沉積爐
一,、設(shè)備用途:
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。
二,、設(shè)備特點:
1,、立式結(jié)構(gòu),爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降,。
2,、雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,,外層為碳鋼,,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,,石墨碳氈保溫層保溫效果好,。
3、控制方式為PLC加觸摸屏方式,,有手動及自動控制切換,。自動化程度高,操作方便,。
4,、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定,、可靠,。
5、配備出,、裝料料車,,方便操作及出裝料,提高工作效率,。
ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐三,、主要技術(shù)參數(shù):
No.型號工作區(qū)尺寸(?XH)mm高溫度 (℃)真空度 (Pa)壓升率
(Pa/h)溫度均勻性(℃)功率(KW)
1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550
注:爐膛尺寸可按您的要求定做
HZT-100-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
HZT-360-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
一、設(shè)備用途:
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備,。
二,、設(shè)備特點:
1、臥式結(jié)構(gòu),,雙爐門結(jié)構(gòu),,爐門啟閉采用氣動方式。
2,、雙層爐殼結(jié)構(gòu),,內(nèi)層不銹鋼,,外層為碳鋼,中間通水冷卻,。石墨碳棒加熱體,,石墨碳氈保溫層保溫效果好。
3,、控制方式為PLC加觸摸屏方式,,有手動及自動控制切換。自動化程度高,,操作方便,。
4,、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,,性能穩(wěn)定、可靠,。
5,、配備出、裝料料車,,方便操作及出裝料,,提高工作效率。
三,、主要技術(shù)參數(shù):
No. | 型號 | 工作區(qū)尺 (WXHXL)mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 (KW) |
1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |
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