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目錄:廈門地坤科技有限公司>>機械機電設(shè)備>> ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
  • ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 廈門地坤
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 廈門市
屬性

產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:綜合

>

更新時間:2021-10-29 12:09:02瀏覽次數(shù):1682評價

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,,外層為碳鋼,,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳氈保溫層保溫效果好,。

ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-145-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-220-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-270-15立式化學(xué)氣相沉積爐

ZT-550-15立式化學(xué)氣相沉積爐

一,、設(shè)備用途:

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。

二,、設(shè)備特點:

1,、立式結(jié)構(gòu),爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降,。

2,、雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,,外層為碳鋼,,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,,石墨碳氈保溫層保溫效果好,。

3、控制方式為PLC加觸摸屏方式,,有手動及自動控制切換,。自動化程度高,操作方便,。

4,、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定,、可靠,。

5、配備出,、裝料料車,,方便操作及出裝料,提高工作效率,。

ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐三,、主要技術(shù)參數(shù):

No.型號工作區(qū)尺寸(?XH)mm高溫度  (℃)真空度   (Pa)壓升率

 (Pa/h)溫度均勻性(℃)功率(KW)

1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060

2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145

3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220

4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275

5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

注:爐膛尺寸可按您的要求定做

637711059472046819562.png




HZT-100-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

HZT-360-15臥式化學(xué)氣相沉積爐

一、設(shè)備用途:

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備,。

二,、設(shè)備特點:

1、臥式結(jié)構(gòu),,雙爐門結(jié)構(gòu),,爐門啟閉采用氣動方式。

2,、雙層爐殼結(jié)構(gòu),,內(nèi)層不銹鋼,,外層為碳鋼,中間通水冷卻,。石墨碳棒加熱體,,石墨碳氈保溫層保溫效果好。

3,、控制方式為PLC加觸摸屏方式,,有手動及自動控制切換。自動化程度高,,操作方便,。

4,、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,,性能穩(wěn)定、可靠,。

5,、配備出、裝料料車,,方便操作及出裝料,,提高工作效率。

三,、主要技術(shù)參數(shù):

No.

型號

工作區(qū)尺

(WXHXL)mm

高溫度 

(℃)

真空度 

(Pa)

壓升率 

(Pa/h)

溫度均勻性

 (℃)

功率

 (KW) 

1

HZT-100-15

400X400X600

1500

1-100

0.67

±20

100

2

HZT-145-15

500X500X750

1500

1-100

0.67

±20

145

3

HZT-145-15

600X600X900

1500

1-100

0.67

±20

190

4

HZT-360-15

700X700X2000

1500

1-100

0.67

±20

360


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