一、用途:
BMT700研究型硅片顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察,。本儀器配有大移動范圍的載物臺,、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡,、大視野目鏡,,圖像清晰、襯度好,,同時配有偏光裝置,,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕,、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒,、有機(jī)雜質(zhì),、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子,、硅粉粉塵等,,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán),、發(fā)黑等現(xiàn)象,,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中*的檢測儀器之一.
二、BMT700研究型硅片顯微鏡技術(shù)參數(shù):
1,、目鏡
類 別 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
大視野目鏡 | 10X | φ22 |
2,、物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離(mm) |
無限遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 26.1 |
10X | 0.25 | 20.2 | |
40X | 0.60 | 3.98 | |
60X | 0.70 | 3.18 |
3,、光學(xué)放大倍數(shù):50X -- 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù):50X-3500X
4、濾色片組:黃色,、藍(lán)色,、綠色、磨砂玻璃
5,、偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6,、載物臺:二層機(jī)械移動式:尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7、粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),,微動手輪格值:0.002mm
8,、落射照明器:鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào);透射光源6V30W鹵素?zé)?,加裝散熱片,。
9、防霉:*的防霉系統(tǒng)
三,、BMT700研究型硅片顯微鏡適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察,。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器,、長工作距離的平場消色差物鏡,、大視野目鏡,圖像清晰,、襯度好,,同時配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器,。
四,、總放大參考倍數(shù):
50--4000倍 (17寸顯示器為例)
五、系統(tǒng)組成:
1,、顯微鏡
2,、適配鏡
3、500萬高像素攝像頭
4,、計算機(jī)(選配)
六,、選購件:
1、二維測量軟件
2,、目鏡: 20X 10X(帶刻度)
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